王济州
- 作品数:4 被引量:25H指数:2
- 供职机构:兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金:表面工程技术国家级重点实验室基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信机械工程更多>>
- 膜层的光学薄膜参数测量方法研究被引量:5
- 2013年
- 简述了研究膜层光学薄膜参数测量方法的必要性。详细介绍了各种测量方法的理论思想、测量准确度、测量范围。综合比较了各种测量方法的优缺点和适用性,研究了测量不同类型薄膜系统膜层光学薄膜参数的最佳测量方法。最后总结了膜层光学薄膜参数测量方法的发展,并提出了建议。
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- 用于激光直写灰度掩模的二元金属薄膜的制备及光学性质被引量:2
- 2009年
- 利用磁控溅射方法制备了Zn/Al二元金属薄膜,得出了制备Zn/Al二元金属薄膜的工艺参数。论述了其在激光直写灰度掩模中的应用。
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- 关键词:磁控溅射激光直写灰度掩模
- 光学薄膜参数测量方法研究被引量:18
- 2015年
- 为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法,对优化膜系结构和改进制备工艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上,将包络线法与全光谱拟合反演法相结合,提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似值作为参考,设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限,结合适当的评价函数构建计算物理模型,并选用综合优化算法求解获得待测膜系各膜层的光学薄膜参数。最后设计Ti O2、Si O2单层膜和膜系为:G|0.5HLHL0.5H|A(H-Ti O2,L-Si O2)的多层膜进行测量验证,并分析了该测量方法的效率、准确度、稳定性等。
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- 关键词:光学薄膜
- 对衍射光学元件温度特性的研究被引量:1
- 2008年
- 大多数空间光学仪器的工作环境温度变化范围都较大。对折射元件和衍射元件的温度特性进行了分析,建立了透镜焦距和衍射效率随环境温度的变化关系,并论述了利用衍射光学元件的温度特性实现光学系统消热差的原理和设计方法。
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- 关键词:衍射光学红外光学系统