王晨华
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学航空宇航学院更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 微机电系统级建模与仿真研究
- 微机电系统(MEMS)是目前迅速发展的多学科技术交叉领域,但存在 MEMS 产品开发周期长、成本高的问题,设计水平远滞后于制造水平,导致 MEMS 产品不能形成规模。因此当前 MEMS 设计方法和设计工具研究已成为国际上...
- 王晨华
- 关键词：微机电系统硬件描述语言
- 文献传递
- 微机电系统中薄膜结构在静电力和Casimir力作用下的稳定性被引量：1
- 2005年
- 研究了静电驱动的微机械薄膜的稳定性问题。当微机械构件之间的间距在亚微米尺度以下,构件会受到量子效应的影响,如Casimir效应。通过对薄膜在静电力及Casimir力共同作用下的行为进行分析,由数值计算得到了决定薄膜稳定性状态的无量纲参数K及K曲线的临界值KC,若K值大于KC,薄膜结构为不稳定,会引起塌陷失效,薄膜粘附在基底上,且不可恢复。KC值大小与微机械薄膜和基底表面的距离以及外加电压相关。由此提供了设计高长厚比(L/h)的静电驱动薄膜结构的方法。
- 王晨华郭万林冯谦
- 关键词：CASIMIR效应静电驱动多晶硅微机电系统
