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王晓晴
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
装甲兵工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
张平
中国机械工程学会
唐云
装甲兵工程学院
谭俊
中国机械工程学会
蔡志海
装甲兵工程学院
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作者
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蔡志海
1篇
王晓晴
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谭俊
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唐云
1篇
张平
传媒
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核技术
年份
1篇
2003
共
1
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离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究
被引量:2
2003年
运用离子束辅助沉积(IBAD)法在硅片上制备了立方氮化硼(c-BN)薄膜, 研究了辅助能量、辅助束流及辅助束中氮气含量等参数对膜中c-BN含量的影响。用红外光谱(FTIR)及X射线光电子能谱(XPS)分析技术对得到的c-BN膜进行了分析。结果表明: 合适的离子辅助能量能够获得c-BN含量高的薄膜; 膜中c-BN的含量随辅助气体中N2含量的提高而增加;辅助束流对薄膜的形成影响不明显。
谭俊
张平
蔡志海
王晓晴
唐云
关键词:
立方氮化硼薄膜
离子束辅助沉积
红外光谱分析
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