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王亦曼

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：电子工业部第十二研究所更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇氧化钪
  • 2篇真空系统
  • 2篇钨粉
  • 2篇铝酸盐
  • 2篇激光
  • 2篇激光蒸发
  • 2篇工作温度

机构

  • 2篇电子工业部第...

作者

  • 2篇王亦曼
  • 2篇潘同武
  • 2篇张甫权

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1996
共 3 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
激光蒸发薄膜钪系阴极及其制备方法
激光蒸发薄膜钪系阴极及其制备方法，属于电真空元器件领域，本发明提供了一种利用激光束，以一定的能量注射到真空系统中的旋转靶台上，靶由高纯度钨粉及氧化钪粉组成，靶材粒子受热气化蒸发到充满铝酸盐的多孔钨体压制的阴极基体上，形成...
王亦曼潘同武张甫权
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薄膜钪系阴极及其制备方法
激光蒸发薄膜钪系阴极及其制备方法，属于电真空元器件领域，本发明提供了一种利用激光束，以一定的能量注射到真空系统中的旋转靶台上，靶由高纯度钨粉及氧化钪粉组成，靶材粒子受热气化蒸发到充满铝酸盐的多孔钨体压制的阴极基体上，形成...
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