您的位置： 专家智库 > >

林龙智

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中山大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇镀膜
  • 1篇镀膜材料
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇真空室
  • 1篇膜厚
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度

机构

  • 1篇中山大学

作者

  • 1篇张豪杰
  • 1篇林龙智
  • 1篇汪河洲
  • 1篇江绍基

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
一种多晶硅薄膜的制备方法及其制备系统
本发明涉及一种多晶硅薄膜的制备方法，该制备方法所使用的系统包括真空室、抽真空系统、蒸发装置、发热元件、膜厚监控装置、温度探测装置及温度控制器，其包括以下步骤：将镀膜材料及衬底置于真空室内，并利用抽真空系统对真空室抽真空；...
江绍基张豪杰林龙智汪河洲
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0