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李明
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西安工业大学光电工程学院光电微系统研究所
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相关领域:
一般工业技术
理学
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合作作者
刘卫国
西安工业大学光电工程学院光电微...
马卫红
西安工业大学光电工程学院光电微...
蔡长龙
西安工业大学光电工程学院光电微...
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锆钛酸铅薄膜腐蚀研究
被引量:3
2007年
通过对腐蚀溶液的优化,获得了一种刻蚀效果良好的锆钛酸铅(PZT)薄膜的腐蚀溶液配方。文中所采用的PZT薄膜是通过溶胶!凝胶(sol-gel)法获得的,在研究腐蚀溶液组分、温度以及浓度对腐蚀速率影响的基础上,成功获得了PZT薄膜微图形化的湿法腐蚀工艺。通过实验研究,获得了横向和纵向腐蚀速率随温度和浓度变化曲线,侧蚀比(横比纵)小于1:1.07,且图形表面无残留物。
蔡长龙
李明
马卫红
刘卫国
关键词:
PZT薄膜
湿法腐蚀
腐蚀速率
锆钛酸铅薄膜腐蚀研究
通过对腐蚀溶液的优化,获得了一种刻蚀效果良好的锆钛酸铅(PZT)薄膜的腐蚀溶液配方.所采用的PZT薄膜是通过溶胶-凝胶(sol-gel)法获得的.在研究腐蚀溶液组分、温度以及浓度对腐蚀速率影响的基础上,成功获得了PZT薄...
蔡长龙
李明
马卫红
刘卫国
关键词:
PZT薄膜
湿法腐蚀
腐蚀速率
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