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李明

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：西安工业大学光电工程学院光电微系统研究所更多>>
相关领域：一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇腐蚀速率
  • 2篇PZT薄膜

机构

  • 2篇西安工业大学

作者

  • 2篇蔡长龙
  • 2篇李明
  • 2篇马卫红
  • 2篇刘卫国

传媒

  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇二〇〇六年全...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
锆钛酸铅薄膜腐蚀研究被引量：3
2007年
通过对腐蚀溶液的优化,获得了一种刻蚀效果良好的锆钛酸铅(PZT)薄膜的腐蚀溶液配方。文中所采用的PZT薄膜是通过溶胶!凝胶(sol-gel)法获得的,在研究腐蚀溶液组分、温度以及浓度对腐蚀速率影响的基础上,成功获得了PZT薄膜微图形化的湿法腐蚀工艺。通过实验研究,获得了横向和纵向腐蚀速率随温度和浓度变化曲线,侧蚀比(横比纵)小于1:1.07,且图形表面无残留物。
蔡长龙李明马卫红刘卫国
关键词：PZT薄膜湿法腐蚀腐蚀速率
锆钛酸铅薄膜腐蚀研究
通过对腐蚀溶液的优化,获得了一种刻蚀效果良好的锆钛酸铅(PZT)薄膜的腐蚀溶液配方.所采用的PZT薄膜是通过溶胶-凝胶(sol-gel)法获得的.在研究腐蚀溶液组分、温度以及浓度对腐蚀速率影响的基础上,成功获得了PZT薄...
蔡长龙李明马卫红刘卫国
关键词：PZT薄膜湿法腐蚀腐蚀速率
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