曾为
- 作品数：7 被引量：44H指数：5
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信交通运输工程更多>>
- 基于PSD的微小位移测量研究被引量：15
- 2006年
- 介绍了一种新型的纳米精度光学测量系统。该系统结合半导体位置探测器件(Position Sensitive Detection,PSD)及现代计算机技术,利用激光在两平面镜间多次反射,将测量镜的纳米量级被测物位移放大到PSD能够分辨出的微米量级的位移,从而利用相对低精度的手段完成高精度的测量。实验表明此系统能够对微小位移进行放大测量,测量精度达到11．5 nm。
- 曾为陈培锋李超
- 关键词：激光测量PSD
- 激光位置检测中PSD的误差分析与实验研究被引量：9
- 2006年
- 通过实验研究了激光光束质量对PSD输出位置精度的影响。基于PSD工作原理分析并得出了背景光强与输出结果的关系,实验中采用与测量光源匹配的滤光片来消除背景光干扰,极大提高了PSD的测量精度。并通过双一次插值算法修正PSD的非线性误差,修正后结果表明B区测量误差显著减小,线性度和测量精度明显提高。
- 朱明珠陈培峰周保玉曾为
- 关键词：激光检测位置敏感探测器背景光插值算法
- 基于PSD的微小位移测量系统的设计
- 2006年
- 介绍了一种基于DSP+PSD体系结构的微小位移测量的系统。详细叙述了该检测系统的测量的原理,数字信号处理器(DSP)采样,硬件电路的实现,信号接收控制模块,软件设计和具体实现的流程框图。此系统可开发成便携式微小位移测量模块,具有体积小,能耗低,精度高的优点。适用于户外作业和在自动化生产线上实时检测及校准。
- 李超陈培锋曾为
- 关键词：实时检测TMS320LF2407A差分输入
- 基于PSD的微小角度动态测量研究被引量：8
- 2005年
- 提出了一种新的测量系统对微小角度进行高精度的实时测量,并给出了系统的测量原理和设计。测量系统将位置敏感探测器(PSD)与计算机测量控制相结合,用光学的方法实现了在较高精度下对微小角度的动态测量,在±2 0’角度变化范围内可以达到0 .1’精度,可以广泛的应用在小角度的高速高精度测量中。
- 周保玉陈培锋朱明珠曾为
- 关键词：数据采集与处理
- 位置敏感探测器非线性误差修正实验研究被引量：7
- 2005年
- 位置敏感探测器(position sensitive detector,PSD)以其分辨力高、时间响应性好的突出优点在光电检测领域得到了广泛的应用,但PSD在制造过程中产生的非线性误差很大程度上降低了它的测量精度和范围。利用双一次插值法对PSD进行了非线性误差修正,阐述了实验的设计原理和操作。对非线性误差修正结果的分析表明,通过采用双一次插值法进行误差修正,B区的测量误差显著减小,大大提高了PSD的测量精度和可靠性。
- 周保玉陈培锋朱明珠曾为
- 关键词：PSD
- 基于PSD的微小位移测量系统研究
- 本文介绍一种新型的纳米精度光学测量系统，该系统结合半导体位置探测器件PSD(Position Sensitive Detection)及现代计算机技术，利用激光在两平面镜间多次反射，将与测量镜相连的被测物的纳米量级位移放...
- 曾为
- 关键词：位置敏感探测器数字信号处理器
- 文献传递
- 激光振动测量的发展与展望被引量：8
- 2005年
- 激光振动检测是激光测量技术的重要应用之一。本文综述了激光振动方法中的散斑法、光三角法、干涉法及全息法,并分析了其各自的发展状况和特点,指出了激光振动测量目前亟待解决的问题和今后的发展趋势。
- 曾为陈培峰朱明珠
- 关键词：散斑法全息法干涉法
