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曹善鹏

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇电气工程

主题

  • 5篇导电薄膜
  • 5篇透明导电
  • 5篇透明导电薄膜
  • 4篇氧化锌薄膜
  • 3篇氧化锌
  • 3篇掺杂
  • 2篇底面
  • 2篇电子束蒸发
  • 2篇电子束蒸发法
  • 2篇电阻
  • 2篇电阻率
  • 2篇原材料价格
  • 2篇蒸发法
  • 2篇蒸发制备
  • 2篇热稳定
  • 2篇热稳定性
  • 2篇工作气压
  • 2篇方块电阻
  • 2篇高热稳定性
  • 2篇材料价格

机构

  • 7篇大连理工大学

作者

  • 7篇曹善鹏
  • 6篇叶飞
  • 4篇张文征
  • 4篇侯波

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用
本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10<Sup>-2</Sup>Ω·m)的同时降...
叶飞侯波曹善鹏张文征
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一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用
本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10<Sup>-2</Sup>Ω·m)的同时降...
叶飞侯波曹善鹏张文征
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一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法
本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0....
叶飞曹善鹏侯波张文征
一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法
本发明涉及一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，属于薄膜制备领域。一种性能渐变薄膜的制备方法，为镀膜法，所述方法所用基片台为基片承载面与底面具有设定倾斜角度的基片台，所述设定倾斜角度为0°~75°中的任一角度。该方法通...
叶飞曹善鹏
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一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法
本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0....
叶飞曹善鹏侯波张文征
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一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法
本发明涉及一种渐变性能铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，属于薄膜制备领域。一种性能渐变薄膜的制备方法，为镀膜法，所述方法所用基片台为基片承载面与底面具有设定倾斜角度的基片台，所述设定倾斜角度为0°~75°中的任一角度。该方法通...
叶飞曹善鹏
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ZnO/Si薄膜界面错配定量分析及低错配界面设计
由于透明导电薄膜在太阳能电池、液晶显示器、气体传感器、飞机和汽车用导热窗玻璃等领域应用广泛，近年来受到人们的关注。在各类透明导电氧化物薄膜材料中，铝掺杂ZnO(AZO)薄膜由于具有低电阻率(～10-3Ω·cm)、高透过率...
曹善鹏
关键词：透明导电薄膜氧化锌铝掺杂
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