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明雪飞
作品数:
85
被引量:40
H指数:4
供职机构:
中国电子科技集团第五十八研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
理学
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合作作者
吉勇
中国电子科技集团第五十八研究所
高娜燕
中国电子科技集团第五十八研究所
李杨
中国电子科技集团第五十八研究所
陈波
中国电子科技集团第五十八研究所
丁荣峥
中国电子科技集团第五十八研究所
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一种集成电路塑料封结构及其制备方法
本发明提供了一种集成电路塑料封结构及其制备方法,属于集成电路制造技术领域。所述集成电路塑料封结构包括预模塑LCP外壳、LCP盖板、LCP密封结合层和芯片。芯片组装在预模塑LCP外壳中,LCP盖板紧密嵌入在预模塑LCP外壳...
朱媛
王剑峰
高娜燕
明雪飞
文献传递
凸点互连焊接方法
本发明涉及集成电路芯片的凸点焊接技术领域,尤其是一种凸点互连焊接方法。包括如下步骤:步骤一,将芯片上的凸点与基板上的焊盘位置对准后,利用频率为18KHz~130KHz压力为50g~200g,功率为的1W~500W超声波将...
丁荣峥
明雪飞
李欣燕
文献传递
极多层布线的埋置型TSV转接板结构
本发明涉及一种转接板结构,尤其是一种极多层布线的埋置型TSV转接板结构,属于集成电路封装的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述极多层布线的埋置型TSV转接板结构,包括转接板体;在所述转接板体内凹设有布线转接板槽,在所...
明雪飞
朱家昌
文献传递
一种射频信号垂直传输结构及其制备方法
本发明公开一种射频信号垂直传输结构及其制备方法,属于半导体晶圆级封装技术领域。射频信号垂直传输结构包括衬底和绝缘隔离结构;其中,所述衬底上形成有信号传输结构和信号屏蔽结构;所述绝缘隔离结构包裹所述信号传输结构和信号屏蔽结...
王刚
李杨
朱召贤
明雪飞
夏晨辉
周立彦
文献传递
一种硅基三维扇出集成封装方法及结构
本发明公开一种硅基三维扇出集成封装方法及结构,属于集成电路封装技术领域。首先提供背面沉积有截止层的硅基,在所述截止层上键合玻璃载板;接着在所述硅基正面刻蚀出凹槽和TSV通孔,在凹槽中埋入母芯片并用干膜材料填满;然后将若干...
王成迁
明雪飞
吉勇
一种三维系统级集成硅基扇出型封装方法及结构
本发明公开一种三维系统级集成硅基扇出型封装方法及结构,属于三维系统级集成电路封装技术领域。首先提供硅基,将其与玻璃载板键合;在所述硅基背面刻蚀出凹槽和TSV通孔,在TSV通孔中制作背面第一层重布线,在凹槽中埋入桥芯片;然...
王成迁
明雪飞
吉勇
高深宽比硅通孔检测技术研究
2014年
由于SEM显微镜、FIB显微镜检测高深宽比硅通孔耗时、费用高,研究了垂直扫描白光干涉技术检测硅通孔的可行性。设定刻蚀/钝化时间比率,改变深硅刻蚀功率和刻蚀时间,获得不同深度和侧壁粗糙度的硅通孔,并用垂直扫描白光干涉技术进行检测。研究结果表明垂直扫描白光干涉技术可以观察硅通孔的形状、测量侧壁粗糙度、精确无损测量硅通孔深度,可以替代SEM、FIB检测方法。
燕英强
吉勇
明雪飞
陈波
陈桂芳
关键词:
白光干涉
无损检测
集成电路陶瓷封装 合金烧结密封工艺技术要求
本标准规定了集成电路陶瓷封装合金烧结密封工艺(以下简称合金烧结密封工艺)的一般要求和详细要求。本标准适用于带合金焊料的金属、陶瓷、玻璃盖板与陶瓷外壳进行合金烧结的密封工艺。
常乾
陈陶
肖汉武
明雪飞
高娜燕
王燕婷
多层多芯片扇出型三维集成封装方法及结构
本发明涉及一种多层多芯片扇出型三维集成封装方法及结构。其包括如下步骤:步骤1、提供临时键合载板,并设置载板互连金属布线层;步骤2、在所述载板互连金属布线层上制备得到所需的底层塑封单元体;步骤3、在上述底层塑封单元体上制备...
夏晨辉
周超杰
王刚
吉勇
明雪飞
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一种基于TSV技术的埋置型三维集成封装结构
本发明涉及集成电路封装技术领域,特别是涉及基于TSV技术的集成电路封装技术领域。本发明实施例中,基于TSV技术的埋置型三维集成封装结构,包括,所述三维集成封装结构由若干个二维结构通过TSV转接板微凸点互连;所述二维封装结...
姚昕
明雪飞
吉勇
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