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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇气敏
  • 1篇气敏特性
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米材料
  • 1篇厚膜
  • 1篇厚膜元件
  • 1篇二氧化锡薄膜
  • 1篇SNO

机构

  • 1篇福州大学

作者

  • 1篇林伟
  • 1篇黄兆新
  • 1篇宋建将
  • 1篇黄世震
  • 1篇陈知前
  • 1篇陈伟

传媒

  • 1篇漳州师范学院...

年份

  • 1篇2004
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
射频反应溅射纳米SnO_2薄膜气敏特性研究被引量:2
2004年
采用射频反应溅射在瓷管上制备了SnO2气敏薄膜元件,以及用传统方法制备了SnO2厚膜元件.两种元件经测试表现出对乙醇较高的灵敏度,对两种元件进行了性能对比测试.测试表明,无论在灵敏度、响应恢复时间,还是在检测浓度范围上,SnO2气敏薄膜元件都比传统的厚膜元件性能优越.SnO2气敏薄膜元件经过表面修饰,在200×10-6体积浓度下接近30.对薄膜元件加热温度及选择性进行了研究,初步探讨了元件稳定性及其敏感机理.
宋建将黄世震林伟陈伟黄兆新陈知前
关键词:二氧化锡薄膜厚膜元件气敏特性纳米材料
共1页<1>
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