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宋建将
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
福州大学物理与信息工程学院气敏传感器研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈伟
福州大学物理与信息工程学院气敏...
陈知前
福州大学物理与信息工程学院气敏...
黄世震
福州大学物理与信息工程学院气敏...
黄兆新
福州大学物理与信息工程学院气敏...
林伟
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1篇
2004
共
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射频反应溅射纳米SnO_2薄膜气敏特性研究
被引量:2
2004年
采用射频反应溅射在瓷管上制备了SnO2气敏薄膜元件,以及用传统方法制备了SnO2厚膜元件.两种元件经测试表现出对乙醇较高的灵敏度,对两种元件进行了性能对比测试.测试表明,无论在灵敏度、响应恢复时间,还是在检测浓度范围上,SnO2气敏薄膜元件都比传统的厚膜元件性能优越.SnO2气敏薄膜元件经过表面修饰,在200×10-6体积浓度下接近30.对薄膜元件加热温度及选择性进行了研究,初步探讨了元件稳定性及其敏感机理.
宋建将
黄世震
林伟
陈伟
黄兆新
陈知前
关键词:
二氧化锡薄膜
厚膜元件
气敏特性
纳米材料
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