刘谦祥
- 作品数：15 被引量：28H指数：3
- 供职机构：天津师范大学更多>>
- 发文基金：天津市应用基础与前沿技术研究计划国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺医药卫生更多>>
- 银离子注入改善医用碳质陶瓷镀层抗菌性研究
- 赵杰郭希铭刘谦祥唐慧琴冯宏健
- 该研究利用离子束增强淀积(IBAD)和多弧离子镀设备在医用不锈钢表面制备附着力强，结构致密的TiN薄膜。改变镀膜工艺条件，如工作气体流量，流速，基底温度，镀膜偏压离子束能量，剂量等找到最佳条件。用银离子注入的方法在热解碳...
- 关键词：
- 关键词：抗菌性抗腐蚀性多弧离子镀
- 磁场对麦瓦(MEVVA)离子源电荷密度分布的影响
- 2003年
- 为解决麦瓦(MEVVA)离子源束流的径向分布均匀性问题,采取了加入会切磁场的方法.会切磁场的安放位置不同得到束流分布均匀性的程度不同.另外,如安放一纵向磁场对分布的均匀性也有改善,但不如在合适位置安放会切磁场的效果好.
- 刘谦祥郭希铭赵杰
- 关键词：电荷密度
- CrN/ZrN多层梯度薄膜的合成被引量：2
- 2004年
- 利用直流磁控溅射技术,应用双靶轮流反应溅射工艺,制备了CrN/ZrN多层梯度薄膜.采用XRD,AES,XPS和纳米硬度仪等测试方法,对CrN/ZrN多层梯度薄膜的微观结构和纳米硬度进行了研究.结果表明:在N2反应气体环境下通入更具活性的NH3气体所合成的薄膜结构中ZrN和CrN结晶趋向多元化共存,其纳米硬度明显提高.在0.6mL/min(sccm)的N2流量和0.15mL/min的NH3流量条件下,薄膜纳米硬度达到35GPa.
- 刘峰刘谦祥李德军
- 关键词：磁控溅射
- 类金刚石碳膜和氮化钛的摩擦学性能研究被引量：5
- 2003年
- 报道了在相同条件下用磁控溅射方法在硅片上制备类金刚石膜和氮化钛薄膜的研究结果,比较了两种镀膜在机械性能和结构上的效果.实验结果表明,氮化钛薄膜虽有很高的表面硬度,但其摩擦系数、表面粗糟度比类金刚石膜要高得多.而类金刚石膜虽有很低的摩擦系数和光滑的表面,但表面硬度比氮化钛薄膜小.因此,结合两种膜的优点有可能制备高硬度、耐磨性强、表面光滑的新型复合材料.
- 刘谦祥郭希铭赵杰李德军
- 关键词：类金刚石碳膜氮化钛薄膜磁控溅射表面强化工艺摩擦学
- 用IBAD方法合成ZrN/W纳米多层膜被引量：2
- 2006年
- 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm^10 nm)的纳米多层膜。利用AES,XRD和纳米力学测试系统,表面形貌仪表征了薄膜的成分、结构和机械性能,分析了不同调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:多层膜的机械性能普遍优于两种个体材料的混合相;在调制周期为8.6 nm时,显示出强的ZrN(111),W(110)织构和较弱的ZrN(220)峰,与其他条件下制备的样品比较,它具有较高的硬度(~26 GPa),较高的弹性模量(~310 GPa)和较强的膜基结合力(~80 mN)。低角度XRD分析证明了薄膜的多层结构。
- 张晶晶王明霞杨瑾刘谦祥李德军
- 关键词：IBAD多层膜超晶格
- CrN/zrN纳米多层膜的合成及其结构和机械性能的研究
- 在切削工具表面沉积保护膜可以明显提高其使用寿命和切削速度。近年来,过渡金属氮化物如CrN,ZrN,TiN已被广泛应用作保护涂层,而且CrN己被证实具有良好的的抗腐蚀和耐磨性,比TiN有更好的抗氧化性,与众多金属有更好的结...
- 张晶晶王明霞杨瑾刘谦祥李德军
- 文献传递
- Ar／N2气体比例对ZrN／WN纳米多层膜的结构和性能的影响
- 选择Zr和W的氮化物作为个体层材料,利用FJKS60CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统制备ZrN,WN 及一系列的ZnN／WN多层薄膜。通过X射线衍射仪,俄歇电子能谱和纳米力学测试系统分析了该体系合成中Ar／N...
- 王明霞张晶晶杨瑾刘谦祥李德军
- 关键词：射频磁控溅射
- 文献传递
- 磁控溅射参数对ZrN/WN纳米多层膜的结构和性能的影响
- 目前,多层薄膜的研究已经引起工业界的广泛关注。因为随着多层膜中个体薄膜厚度趋向于纳米量级,多层膜体系的整体性能会大大改善。当然,多层膜体系性能的改善也与个体薄膜材料的种类和结构有着直接的关系。因此研究不同种类材料构成的纳...
- 王明霞张晶晶杨瑾刘谦祥李德军
- 文献传递
- 高温稳定的超硬纳米多层膜微观结构设计与合成
- 李德军蔡强邢冬梅刘谦祥刘瑞安刘峰杨格丹王晓伟ChungYWChenY王明霞张晶晶张晶晶杨谨
- 该课题利用直流和射频磁控溅射技术，以及离子束辅助沉积技术完成了以锆、钨、钛、铬、钽、铌、钒等过渡金属氮化物、碳化物、硼化物(包括锆铝合金氮化物)等为主要单质薄膜之间合适匹配的纳米多层膜体系的设计合成工作。对于过渡金属硼化...
- 关键词：
- 关键词：纳米多层膜磁控溅射离子束辅助沉积
- CrN／ZrN纳米多层膜的合成及其结构和性能的研究
- 利用非平衡直流磁控双靶溅射在不同的基底转速(4-11 r／min)和不同反应气体流量下制备一系列的具有纳米周期的CrN／ZrN多层膜。利用X射线衍射,俄歇电子能谱,X射线光电子能谱表征了薄膜的成分和结构,利用纳米力学测试...
- 张晶晶王明霞杨瑾刘谦祥李德军
- 关键词：磁控溅射多层膜
- 文献传递
