刘王平
- 作品数：9 被引量：50H指数：5
- 供职机构：硬质合金国家重点实验室更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
- HFCVD在硬质合金基体上沉积(110)&(100)金刚石薄膜被引量：4
- 2005年
- 以CH4和H2为反应气体,用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在YG6(WC-6%Co)硬质合金基体上沉积了具有(110)和(100)织构的金刚石薄膜。用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、压痕仪对样品进行了分析。结果表明:金刚石薄膜由约1μm大小立方金刚石晶粒组成,其形核密度大于2×108/cm2;(110)和(100)织构系数分别为0.59和0.033,压痕荷载为588N时附着性能良好。
- 刘王平余志明
- 关键词：HFCVD金刚石薄膜形貌织构附着力
- YG13硼化处理后沉积气压对金刚石薄膜的影响被引量：9
- 2007年
- 采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究YG13经950℃、3h硼化预处理后沉积气压对金刚石薄膜形貌和生长织构的影响;通过压痕法比较硼化与二步法两种预处理方法对金刚石薄膜附着性能的影响。结果表明,基体经硼化预处理后表面形成CoB、CoW2B2、CoW3B3相;当沉积温度为750～800℃,碳源浓度为3.3%时,薄膜表面形貌和生长织构随着沉积气压改变有明显的变化;硼化预处理后所得样品在1500N载荷下压痕表现出良好的附着性能,较二步法预处理更加有效地改善了膜-基附着性能。
- 魏秋平余志明马莉游小龙丰杰吴晓斌刘王平
- 关键词：金刚石薄膜硬质合金
- 化学脱钴对硬质合金沉积金刚石薄膜的影响被引量：19
- 2008年
- 采用HFCVD系统,以CH4和H2为反应气体,分别在YG3、YG6、YG10、YG13硬质合金上沉积了金刚石薄膜,研究了化学脱钴处理对不同钴含量硬质合金沉积金刚石薄膜的影响。通过对105个样品的实验结果进行统计分析发现,YG3所得金刚石薄膜样品具有足够结合强度的比例为89%;而YG6、YG10和YG13所得样品的相应值分别为24%、7%和0%。相反,YG3、YG6、YG10和YG13所得金刚石薄膜严重破坏的比例分别为0%、64%、72%和79%。研究表明,化学腐蚀脱钴处理能够解决金刚石涂层形核率低的问题,但难以解决高钴硬质合金的附着性差的问题。
- 魏秋平余志明马莉杨莉刘王平肖和
- 关键词：金刚石薄膜硬质合金预处理附着力
- YG6硼化综合处理后基体温度对金刚石薄膜的影响被引量：6
- 2006年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,以甲烷和氢气为反应气体,在经950℃×6h硼化综合处理后的YG6(WC–6%Co)硬质合金基体上制备了金刚石膜。使用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析、对比,研究了基体温度对金刚石薄膜形貌和生长织构的影响,比较了硼化综合处理与二步法处理对金刚石薄膜附着性能的影响。结果表明,当沉积气压为2.67kPa,碳源浓度为3.3%时,薄膜表面形貌和生长织构随着基体温度改变有明显的变化,硼化综合处理较二步法预处理更加有效地改善了膜–基附着性能。
- 魏秋平余志明马莉胡德莹李媛刘王平肖和
- 关键词：金刚石薄膜硬质合金硼化处理
- 金刚石薄膜制备及其生长机理的研究
- 本文以甲烷和氢气为原料，采用热丝气相沉积(HFCVD)法在YG6硬质合金基体上沉积了金刚石膜。通过扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)研究了沉积温度(热丝功率、基体温度)、气体密度对金刚石膜表面形貌和织构的影响;同...
- 刘王平
- 关键词：金刚石薄膜表面自由能
- 文献传递
- TiAlCNO过渡层组织结构及其对Al_2O_3涂层结构性能的影响被引量：7
- 2015年
- MT-TiCN/α-Al2O3多层涂层是高性能硬质合金CVD涂层刀具的典型涂层结构,得到广泛的应用和研究。TiAlCNO过渡层可以改善MT-TiCN/α-Al2O3涂层之间的结合性能。通过改变沉积气氛氧化势,制备了不同成分的TiAlCNO过渡层和MT-TiCN/TiAlCNO/Al2O3多层涂层,研究了沉积气氛氧化势对TiAlCNO过渡层和MT-TiCN/TiAlCNO/Al2O3多层涂层的结构性能的影响。结果表明:当沉积气氛中有CO2时,沉积TiAlCNO过渡层中可以检测到α-Al2O3相;随沉积气氛中CO2的增加,TiAlCNO过渡层中的Al含量增加,沉积在TiAlCNO过渡层表面的α-Al2O3涂层织构降低,结合强度增加。当TiAlCNO过渡层沉积气氛中CO2流量由0 L/min增加到1 L/min时,Al2O3涂层的织构系数TC(113)由0.64增加到1.33,而TC(012)由2.07降到1.5,TC(110)由1.99降到0.97;划痕临界载荷LC由36.5 N增加到51.7 N。
- 刘王平陈响明魏秋平王社权周文豪
- 关键词：CVD涂层AL2O3
- 甲烷浓度对金刚石薄膜织构的影响被引量：11
- 2005年
- 采用热丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为反应气体,在硬质合金YG6基体上沉积了金刚石薄膜。研究了不同的甲烷浓度对金刚石织构变化趋势的影响。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对金刚石膜的表面形貌、织构形成进行了分析。结果表明:当基体温度为760℃,沉积气压为4×103Pa,甲烷浓度从1%到5%,都形成了(110)织构。但是,当甲烷浓度为3.3%时,有(100)织构。
- 陈志红余志明许向阳刘王平
- 关键词：热丝化学气相沉积硬质合金金刚石薄膜织构
- 氧掺杂对MT-TiCN涂层结构和性能的影响被引量：1
- 2020年
- 在现有MT-TiCN涂层的CVD制备气氛体系中,通过掺入不同比例的CO气体对MT-TiCN涂层进行氧掺杂处理。采用SEM、EDX、XRD、纳米压痕仪等分析涂层的形貌结构、沉积速率、粒径及成分组成、取向织构、纳米硬度等;采用切削实验测试涂层硬质合金刀片的切削性能,综合分析氧掺杂对MT-TiCN涂层结构和性能的影响。结果表明:涂层中的氧含量随CO掺入比例的提高而增加;氧掺杂导致了涂层细晶纤维状结构的形成,且晶粒尺寸随氧含量的增加而减小;CO掺入比例提高对涂层的沉积速率没有影响;涂层均表现出(422)择优生长取向,但氧掺杂促进了涂层向最密排晶面(111)生长,使涂层的硬度增加;单层氧掺杂MT-TiCN涂层切削刀片的抗磨粒磨损性能降低,但在磨损形式以正常粘附磨损为主的高速切削中,具有超细晶结构及高硬度的氧掺杂MT-TiCN涂层切削刀片及其复合了Al2O3涂层的多层涂层切削刀片均体现出了较好的耐磨性能。
- 李秀萍刘王平刘王平王社权
- 关键词：化学气相沉积切削刀具
- 合金成分和涂层对WC-Co硬质合金疲劳性能的影响被引量：1
- 2022年
- 本文采用三点弯曲疲劳试验,研究了Cr_(3)C_(2)/TaC添加剂、原料WC粒度、CVD涂层处理对WC-Co硬质合金疲劳性能的影响,通过光学显微镜、超景深显微镜、扫描电子显微镜研究了硬质合金疲劳断口形貌和失效机理。实验结果表明:采用Cr_(3)C_(2)添加剂合金基体疲劳性能优于TaC添加剂合金。采用TaC为添加剂时,粗晶粒WC合金疲劳性能优于细晶粒WC合金。采用Cr_(3)C_(2)为添加剂时,WC原料粒度对合金疲劳性能影响不明显。合金基体试样疲劳断口呈凹凸不平状,裂纹源起源于近表层的基体组织缺陷。在硬质合金基体外涂覆CVD涂层会导致其疲劳性能显著下降,且疲劳断口呈平整状,裂纹起源于涂层,裂纹扩展由涂层向基体扩展。在硬质合金外涂覆CVD涂层不会影响基底材料的断口断裂形式,断口断裂形式主要以沿晶断裂为主。
- 刘萍瞿峻瞿峻陈响明刘王平
- 关键词：CVD涂层显微组织
