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马舒
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1
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
陈波
中国科学院微电子研究所
李超波
中国科学院微电子研究所
万军
中国科学院微电子研究所
吕树玲
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
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夏洋
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陈波
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1篇
2012
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原子层薄膜沉积系统
1.本外观设计产品的名称:原子层薄膜沉积系统。;2.本外观设计产品的用途:用于进行原子层薄膜沉积。;3.本外观设计的设计要点:于外部形状。;4.最能表明设计要点的图片或者照片:主视图。
夏洋
李超波
陈波
万军
吕树玲
马舒
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