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马绍栋
作品数:
26
被引量:4
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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相关领域:
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合作作者
郑婉华
中国科学院半导体研究所
渠红伟
中国科学院半导体研究所
张冶金
中国科学院半导体研究所
王海玲
中国科学院半导体研究所
石岩
中国科学院半导体研究所
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一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法
本发明涉及晶体材料处理技术领域,公开了一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法,包括:在铁电晶体材料上施加高脉冲电压,将该铁电晶体材料极化为周期性反转铁电晶体;以及对该周期性反转铁电晶体进行切割、抛光和对准键合,完成大厚...
郑婉华
马传龙
范学东
渠红伟
彭红玲
王海玲
马绍栋
文献传递
低发散角单纵模边发射光子晶体激光器
一种低发散角单纵模光子晶体边发射激光器,包括:在衬底上依次生长的N型光子晶体波导、N型下波导层、有源区、P型上波导层、P型上限制层,该P型上限制层的纵向剖面为一脊型结构,其上部的一侧为整体结构,另一侧为人工微结构,该人工...
渠红伟
张冶金
张建心
刘磊
马绍栋
石岩
郑婉华
文献传递
基于微结构硅波导选频的混合硅单模环形腔激光器
一种基于微结构硅波导选频的混合硅单模环形腔激光器,包括:一硅衬底;一二氧化硅层制作在硅衬底之上;一硅环状波导层制作在二氧化硅层之上;一键合缓冲层制作在硅波导层上;一N型接触层制作在键合缓冲层之上;一N型电极制作在N型接触...
张冶金
王海玲
渠红伟
马绍栋
郑婉华
超低发散角倾斜光束单纵模人工微结构激光器
一种超低发散角倾斜光束的单纵模人工微结构激光器,包括:一衬底和在衬底上制作的N型下限制层、N型下波导层、有源区、P型上波导层、P型上限制层、P型欧姆接触层、绝缘层,一P型电极制作在绝缘层上;一N型电极,制作在衬底的背面;...
渠红伟
张冶金
张建心
刘磊
齐爱谊
王海玲
马绍栋
石岩
郑婉华
文献传递
基于倏逝场耦合及周期微结构选频的混合硅单模激光器
一种基于倏逝场耦合及周期微结构选频混合硅单模激光器,包括:一硅衬底,该硅衬底为单晶硅材料;一二氧化硅层,该二氧化硅层制作在硅衬底之上;一硅波导层,该波导层制作在二氧化硅层之上,该波导层的纵向开有两条空气沟道,两条空气沟道...
张冶金
渠红伟
王海玲
马绍栋
郑婉华
基于正交微纳周期结构选模的可调谐半导体激光器
一种基于正交微纳周期结构选模的可调谐半导体激光器,包括:一衬底;在该衬底上制作有N型纵向微纳周期结构、N型下波导层、有源区、P型上波导层和P型上限制层,该P型上限制层纵向剖面为一脊型结构,脊形结构上部的两侧为整体结构,一...
渠红伟
郑婉华
张冶金
张建心
刘磊
齐爱谊
王海玲
马绍栋
石岩
文献传递
单模光子晶体垂直腔面发射激光器及其制备方法
本发明提供了一种单模光子晶体垂直腔面发射激光器及其制备方法。该单模光子晶体垂直腔面发射激光器,利用透明导电层透光和导电特性,使得电流均匀的注入有源区,从而解决了电流注入问题,提高了单模输出功率。
渠红伟
张冶金
张建心
刘磊
齐爱谊
王海玲
马绍栋
石岩
郑婉华
文献传递
一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法
本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法,包括:在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极;将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合,得到复合铁电晶体;在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀...
郑婉华
马传龙
范学东
马绍栋
齐爱谊
文献传递
一种对铁电晶体材料进行极化的极化电极
本发明公开了一种对铁电晶体材料进行极化的极化电极,用于制备出小周期周期性和准周期周期性反转铁电晶体,该极化电极包括:梳状光栅极化电极,具有多个梳状的光栅电极条;以及设置于该梳状光栅极化电极的光栅电极条之间的、宽度小于该光...
郑婉华
范学东
马传龙
马绍栋
齐爱谊
文献传递
一种对InGaAs与GaAs进行低温金属键合的方法
本发明公开了一种对InGaAs与GaAs进行低温金属键合的方法,包括:清洗单面抛光的InGaAs外延片,去除表面的有机物;在清洗干净的InGaAs外延片上蒸镀金属层;对该InGaAs外延片进行光刻腐蚀,得到带窄金属条的I...
郑婉华
彭红玲
渠宏伟
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