霍永恒
- 作品数:6 被引量:8H指数:2
- 供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
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- 电压调制型中长波双色量子阱红外探测器及其制作方法
- 一种电压调制型中长波双色量子阱红外探测器,包括:一半绝缘半导体GaAs衬底;一第一半导体GaAs接触层,制作在半绝缘半导体GaAs衬底上;一第一多量子阱红外探测器,制作在第一半导体GaAs接触层上,在第一半导体GaAs接...
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- 文献传递
- 10—14μm同时响应的双色量子阱红外探测器被引量:2
- 2010年
- 实现截止波长为11.8和14.5μm双色同时响应的量子阱红外探测器,可以同时工作在8—12μm大气窗口和甚长波波段.在77K下测量到很强的光电流谱.器件结构采取了较为简洁的设计,通过适当增大量子阱结构中势阱的宽度和选择合适的掺杂浓度,在同一偏压下实现了对两个波长的同时响应.两个光响应峰分别为基态到第五激发态和基态到第一激发态的跃迁吸收.
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- 关键词:量子阱红外探测器
- 两端结构中长波同时响应量子阱红外探测器及其制作方法
- 一种两端结构中长波同时响应量子阱红外探测器,包括:一半绝缘半导体GaAs衬底;一第一半导体GaAs接触层,制作在半绝缘半导体GaAs衬底上;一第一多量子阱红外探测器,制作在第一半导体GaAs接触层上,该第一半导体GaAs...
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- 文献传递
- 两端叠层结构的中长波量子阱红外探测器被引量:6
- 2011年
- 采用分子束外延技术生长了两个叠层结构的双色量子阱红外探测器结构,并经过光刻和湿法刻蚀制作成两端结构的量子阱红外探测器单元器件.通过改变量子阱势垒高度,势阱宽度,掺杂浓度,重复周期数等器件参数,可以使总电压在两个叠层之间产生适当的分布,从而使器件表现出不同的电压响应特点.光电流谱测量显示,器件1随着外加偏置电压可实现对于中波大气红外窗口(3—5μm)和长波大气红外窗口(8—12μm)红外响应的切换,器件2在不同的偏置电压下可以对这两个波段同时做出响应.本文探讨了两端叠层结构量子阱红外探测器的工作原理,将其归结为探测器光导增益随偏置电压增大先增大后减小的变化,以及总外加偏置电压在两个多量子阱层之间的不同分布,重点对于器件1的电压调制特征进行了分析.同每个单元器件制作三个电极的三端结构相比,两端结构能够使双色量子阱红外探测器的器件工艺大为简化,并且无需制作专门的双色读出电路,从而可以降低成本,并能提高面阵器件的填充因子.
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- 关键词:量子阱红外探测器双波段
- 两端结构中长波同时响应量子阱红外探测器及其制作方法
- 一种两端结构中长波同时响应量子阱红外探测器,包括:一半绝缘半导体GaAs衬底;一第一半导体GaAs接触层,制作在半绝缘半导体GaAs衬底上;一第一多量子阱红外探测器,制作在第一半导体GaAs接触层上,该第一半导体GaAs...
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- 电压调制型中长波双色量子阱红外探测器及其制作方法
- 一种电压调制型中长波双色量子阱红外探测器,包括:一半绝缘半导体GaAs衬底;一第一半导体GaAs接触层,制作在半绝缘半导体GaAs衬底上;一第一多量子阱红外探测器,制作在第一半导体GaAs接触层上,在第一半导体GaAs接...
- 霍永恒马文全种明张艳华陈良惠