陈德勇
- 作品数：198 被引量：194H指数：9
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
- 基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法
- 本发明公开了一种基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法，所述电化学地震检波器包括：固定圈、外壳、弹性膜和电极敏感核心；所述电极敏感核心置于两个所述外壳之间，且所述电极敏感核心与外壳之间通过柔性密封垫圈密封；所述弹性膜...
- 王军波邓涛陈德勇何文涛范云洁王鹏
- 文献传递
- 单晶硅振动环陀螺仪的制作被引量：6
- 2010年
- 为了简化电容式振动环陀螺仪的制作方法,进一步提高成品率,提出了一种结合反应离子深刻蚀(DRIE)与阳极键合的陀螺仪制备方法。分析了振动环陀螺的工作原理,指出了传统工艺存在的缺陷;对该制作方法所采用的工艺流程进行了详细设计,分析了不同工艺参数对陀螺仪性能的影响,并依据分析和实验结果改进了工艺流程和参数。最后,采用该方法制作了振动环式微机械陀螺仪并进行了测试。实验结果表明,采用该方法能成功制作电容间隙为3μm、厚度为80μm的振动环式陀螺仪微结构。与传统的制作方法相比,工艺流程大为简化,掩模板数量从7块减少到2块,满足器件性能可靠、工艺简单、成品率高的要求。
- 张明陈德勇王军波
- 关键词：深刻蚀阳极键合
- 一种新颖的谐振式差分微加速度传感器的理论建模
- 为了提高灵敏度，提出一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器.分析该结构差分检测的原理，推导该设计的理论模型，包括结构建模和轴向力作用下谐振微梁的固有频率偏移的推导，得到待测加速度与输出固有频率偏移的关系。使...
- 陈健陈德勇王军波
- 关键词：微机械电子系统有限元模拟
- 基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究被引量：1
- 2013年
- 提出了一种电磁激励、差分检测的谐振式MEMS压力传感器,该器件采用低电阻率的SOI器件层单晶硅制作"H"型谐振梁,并作为激励和检测电极。根据对传感器数学模型的分析,利用有限元分析方法优化了传感器结构设计。采用等离子深刻蚀制作传感器结构,并用湿法腐蚀SOI二氧化硅层的方法释放。利用硅-玻璃阳极键合技术,实现了传感器的圆片级真空封装。采用开环扫描检测和闭环自激振荡方式,测定压力传感器的特性。实验结果表明:传感器一致性良好,在500 hPa～1 100 hPa的检测范围内,差分检测灵敏度为14.96 Hz/hPa,线性相关系数为0.999 996。
- 曹明威陈德勇王军波焦海龙张健
- 关键词：微电子机械系统谐振式压力传感器绝缘体上硅差分检测阳极键合
- 基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法
- 本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成，电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片，其均采用MEMS加工技术制造，可方便地改...
- 陈德勇邓涛王军波何文涛范云洁王鹏
- 文献传递
- 梁膜一体结构谐振梁压力传感器芯片及制造方法
- 一种梁膜一体结构谐振梁压力传感器芯片及制造方法，特点是在单一硅片正面制作谐振梁在背面制作压力敏感膜，谐振梁由两个半岛结构支撑，通过多孔硅牺牲层技术实现，材料选用低应力厚氮化硅。这样不仅简化微谐振式压力传感器的制作工艺，而...
- 陈德勇崔大付王利
- 文献传递
- 悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器
- 本发明提供了一种悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器。其中的一种悬臂件包括：支撑框架；第一质量块和第二质量块，左右对称悬空设置于支撑框架内；第一支撑梁，连接于第一质量块和第二质量块上部之间，其中部连接于外侧的支撑框架；第二...
- 王军波商艳龙陈德勇
- 文献传递
- 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器
- 本发明公开一种基于微电子机械的微结构谐振式传感器，由两个微扭摆谐振器并列放置，微扭摆谐振器上有检测用敏感层膜，另一微扭摆谐振器上有差分检测的非敏感层膜。每个微扭摆谐振器由摆轴和分布在摆轴两边的摆片组成，摆片上布置电磁激励...
- 陈德勇王军波毋正伟
- 文献传递
- 单片集成敏感电极、制备方法及其应用
- 一种单片集成敏感电极、制备方法及其应用，单片集成敏感电极包括基底、第一绝缘层、第二绝缘层、多个流孔、第一电极和第二电极，第一绝缘层，形成于所述基底的一表面上；第二绝缘层，形成于所述基底的另一表面上；多个流孔，贯穿所述第一...
- 王军波许超陈德勇齐文杰刘博文郑希宸
- 文献传递
- 集成式复合敏感电极及其制造方法
- 一种集成式复合敏感电极及其制造方法，该复合敏感电极由四层复合电极堆叠构成，每层复合电极集成间隔层与电极层，电极层布满通孔并且与间隔层的孔径较大的孔相通形成电解液流动的通道；该复合敏感电极采用MEMS加工技术制造，不仅可以...
- 陈德勇邓涛王军波陈健张正宇孙振源李光磊
- 文献传递
