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陈伯良
作品数:
27
被引量:141
H指数:5
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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合作作者
王正官
中国科学院上海技术物理研究所
杨晓阳
中国科学院上海技术物理研究所
李向阳
中国科学院上海技术物理研究所
杨华
中国科学院上海技术物理研究所
朱建妹
中国科学院上海技术物理研究所
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陈伯良
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2001
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2000
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1998
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1984
1篇
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共
27
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InSb红外焦平面器件γ辐照损伤初步研究
2006年
用Co60作γ辐照源对InSb光伏二极管列阵和InSb凝视红外焦平面器件进行了高能辐照损伤实验。在5000rad剂量下观测到二极管优值因子RoA下降了一个数量级,从3.6×105~4.3×105??cm2下降到2.5×104~2.7×104??cm2。在10000rad及以上剂量观测到64×64元凝视焦平面热成像性能的显著退化。
朱建妹
靳涛
刘普霖
唐红兰
陈伯良
关键词:
红外焦平面
辐照损伤
INSB
Γ射线
压敏粘结剂在焦平面器件铟珠制备中剥离多余铟层的用途
本发明公开了一种压敏粘结剂在焦平面阵列器件铟珠阵列制备中多余铟层的黏附剥离用途及使用方法。所说的压敏粘结剂是一种丙烯酸酯类有机合成高分子粘结剂。本发明的最大优点是利用普通硅集成电路工艺条件,可在半导体芯片表面上生成高密度...
朱建妹
陈伯良
张雪珍
文献传递
红外焦平面成像器件发展现状
被引量:69
2005年
红外焦平面列阵成像技术已经进入了成熟期。本文对几种红外焦平面列阵器件如MCT、InSb和QWIP的最新进展作一评述,简要介绍其器件发展水平、技术路线和关键工艺。简要提及一种新颖的非制冷焦平面成像技术:光学读出微光机红外接收器。
陈伯良
关键词:
红外焦平面列阵
碲镉汞
锑化铟
量子阱红外探测器
红外焦平面器件用高密度微细铟珠列阵淀积再流成型方法
陈伯良
朱建妹
辛田玲
曾萌
周为
本发明提供一种红外焦平面器件用高密度微细铟珠列阵淀积再流成型方法,利用普通硅集成电路工艺设备,可重复地在碲镉汞、锑化铟红外探测器列阵芯片和硅信号处理电路芯片上制备出高密度微细铟柱列阵。该方法的要点为:芯片表面清洁处理、厚...
关键词:
关键词:
红外焦平面
可调恒压探针驱动架
王正官
陈伯良
本实用新型提供一种刺探红外焦平面器件芯片面阵像元信号的探针驱动架。它是引用杠杆原理,在杠杆的一端置一探针,另一端置有一平衡力矩的配重块,在配重快垂直上方置一调节螺钉,旋动调节螺钉,可推动配重块上下移动,由于杠杆原理使探针...
关键词:
关键词:
恒压
可调恒压探针驱动架
一种用于探测红外焦平面器件芯片面阵像元信号的可调恒压探针驱动架,它包括杠杆部件、X向平移部件和Y向平移部件构成的X—Y精密移动平台,其特点是所说的杠杆部件的杠杆的一端置一探针,另一端置有一平衡力距的配重块,在配重块垂直上...
王正官
陈伯良
文献传递
具有五靶头的磁控共溅射设备
本专利公开了一种具有五靶头的磁控共溅射设备,本专利磁控溅射设备在腔体内设置有三个溅射靶、基片台、基片台支架、基片台挡板。所述的三个溅射靶包括两个单靶头溅射靶和一个三靶头溅射靶,可通过旋转安装于所述的腔体外侧的转轮把手选择...
杨晓阳
陈伯良
李向阳
贾嘉
文献传递
GD09-030 128元高速InSb线列焦平面探测器
本文主要介绍一种具有精确控制光敏面尺寸,高速运行128元锑化铟中波红外探测器组件。讨论了器件研制工艺中精确限制光敏面尺寸的实现,以及成像扫描机构的设计。最后介绍了器件的扫描热图像。
杨晓阳
袁永刚
王继强
陈伯良
李向阳
关键词:
INSB
焦平面
文献传递
InSb红外焦平面列阵器件减反射膜淀积方法及专用掩膜架
陈伯良
该发明公开了一种InSb红外焦平面器件减反射膜低温淀积方法及其专用金属掩膜架。其方法为淀积温度100-105℃,淀积时间80min。其效果使得InSb芯片的反射率在3.7~4.8微米,工作波段降至8~19%,从而使得In...
关键词:
关键词:
焦平面
减反射膜
一种具有五靶头的磁控共溅射设备
本发明公开了一种具有五靶头的磁控共溅射设备,本发明磁控溅射设备在腔体内设置有三个溅射靶、基片台、基片台支架、基片台挡板。所述的三个溅射靶包括两个单靶头溅射靶和一个三靶头溅射靶,可通过旋转安装于所述的腔体外侧的转轮把手选择...
杨晓阳
陈伯良
李向阳
贾嘉
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