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钱栋彪

作品数:5 被引量:0H指数:0
供职机构:东南大学更多>>
相关领域:电子电信电气工程机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程

主题

  • 3篇衬底
  • 2篇粘附
  • 2篇基板
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇凹陷
  • 2篇MEMS
  • 1篇电容
  • 1篇量程
  • 1篇抗冲
  • 1篇抗冲击
  • 1篇极板
  • 1篇高负载
  • 1篇MEMS器件

机构

  • 5篇东南大学

作者

  • 5篇钱栋彪
  • 3篇唐洁影
  • 3篇黄庆安
  • 3篇宋竞

年份

  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 1篇1900
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
MEMS可动结构接触可靠性的研测试
MEMS器件在日常运输和工作中,以及航空航天及各类军事系统中,常常遭受到不同程度的冲击和碰撞,从而导致断裂、分层、粘附等等失效现象的发生。止挡结构(止挡层)是MEMS器件中常用的一种保护性机构,主要用于保护大机械冲击下M...
钱栋彪
关键词:MEMS器件
文献传递
MEMS可动结构接触可靠性的研究与测试
钱栋彪
关键词:MEMS
加速度计止挡结构
本发明公开了一种加速度计止挡结构,包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头;面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上,其底部向中心处凹陷;止挡接触头为T字型,T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部,T字尾部穿出至...
钱栋彪黄庆安唐洁影宋竞
加速度计止挡结构
本发明公开了一种加速度计止挡结构,包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头;面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上,其底部向中心处凹陷;止挡接触头为T字型,T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部,T字尾部穿出至...
钱栋彪黄庆安唐洁影宋竞
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电极极板的固定结构
本发明公开了一种电极极板的固定结构,包括衬底基板、质量块结构及其对应的固定电极结构,所述质量块结构包括框架状的质量块和可动电极极板,框架状的质量块由横梁和垂直于横梁并位于横梁两侧的大梁组成;所述固定电极结构包括固定电极极...
钱栋彪黄庆安唐洁影宋竞
文献传递
共1页<1>
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