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钱栋彪
作品数:
5
被引量:0
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供职机构:
东南大学
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
宋竞
东南大学
黄庆安
东南大学
唐洁影
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MEMS器件
机构
5篇
东南大学
作者
5篇
钱栋彪
3篇
唐洁影
3篇
黄庆安
3篇
宋竞
年份
2篇
2012
2篇
2011
1篇
1900
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5
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MEMS可动结构接触可靠性的研测试
MEMS器件在日常运输和工作中,以及航空航天及各类军事系统中,常常遭受到不同程度的冲击和碰撞,从而导致断裂、分层、粘附等等失效现象的发生。止挡结构(止挡层)是MEMS器件中常用的一种保护性机构,主要用于保护大机械冲击下M...
钱栋彪
关键词:
MEMS器件
文献传递
MEMS可动结构接触可靠性的研究与测试
钱栋彪
关键词:
MEMS
加速度计止挡结构
本发明公开了一种加速度计止挡结构,包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头;面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上,其底部向中心处凹陷;止挡接触头为T字型,T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部,T字尾部穿出至...
钱栋彪
黄庆安
唐洁影
宋竞
加速度计止挡结构
本发明公开了一种加速度计止挡结构,包括衬底基板、面内止挡层、离面止挡层以及可动的止挡接触头;面内止挡层通过锚区固定于衬底基板之上,其底部向中心处凹陷;止挡接触头为T字型,T字首部位于面内止挡层的凹陷处内部,T字尾部穿出至...
钱栋彪
黄庆安
唐洁影
宋竞
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电极极板的固定结构
本发明公开了一种电极极板的固定结构,包括衬底基板、质量块结构及其对应的固定电极结构,所述质量块结构包括框架状的质量块和可动电极极板,框架状的质量块由横梁和垂直于横梁并位于横梁两侧的大梁组成;所述固定电极结构包括固定电极极...
钱栋彪
黄庆安
唐洁影
宋竞
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