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路亮

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京工业大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇光刻
  • 2篇SU-8胶
  • 1篇单色光
  • 1篇紫外
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇激光
  • 1篇激光微细加工
  • 1篇高压汞灯
  • 1篇汞灯
  • 1篇光刻胶
  • 1篇SU-8光刻...
  • 1篇LIGA

机构

  • 2篇北京工业大学

作者

  • 2篇路亮
  • 1篇刘世炳
  • 1篇刘院省
  • 1篇陈涛
  • 1篇陈继民

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
紫外激光曝光光刻SU-8胶的工艺研究
MEMS/(微电子机械系统/)是21世纪科技与产业的热点之一,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。在MEMS领域中,常需要用到具有一定厚度和深宽比的微结构,LIGA/(X射线深层光刻、电铸成型和微复制/)技术是制作...
路亮
关键词：微电子机械系统LIGASU-8光刻胶光刻
文献传递网络资源链接
一种采用激光对SU－8胶曝光光刻的方法及其装置
本发明属于激光微细加工领域。一种采用激光对SU－8胶曝光光刻的方法，其特征在于：采用波长为355nm的三倍频Nd:YAG激光器(1)作为对SU－8光敏胶进行曝光光刻的光源，激光经均束后通过图案透光的掩模板(4)，再经聚焦...
刘世炳路亮刘院省陈继民陈涛
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