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谭敏

作品数：7 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信电气工程医药卫生理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇理学

主题

  • 3篇电子束曝光
  • 3篇电子束曝光机
  • 3篇束流
  • 3篇曝光机
  • 2篇单片
  • 2篇单片机
  • 2篇电子枪
  • 2篇电子束
  • 2篇光阑
  • 2篇轰击
  • 1篇电机
  • 1篇电子束曝光系...
  • 1篇定子
  • 1篇亚微米
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇双频激光
  • 1篇双频激光干涉
  • 1篇双频激光干涉...
  • 1篇绕线
  • 1篇绕线机

机构

  • 7篇中国科学院

作者

  • 7篇谭敏
  • 2篇殷伯华
  • 2篇张福安
  • 2篇霍荣岭
  • 2篇李文萍
  • 2篇韩立
  • 2篇刘俊标
  • 2篇初明璋
  • 2篇马玉田
  • 1篇唐晖
  • 1篇杨忠山
  • 1篇黄经简

传媒

  • 3篇电工电能新技...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 1篇2001
  • 1篇1996
  • 1篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1991
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
单片机在定子绕线机中的应用被引量：1
1996年
本文介绍了定子绕线机的基本组成和主要技术指标，重点描述了ＭＣＳ－５１系列单片机控制系统的工作原理和软件流程图。定位伺服放大器作为进给驱动，定位精度可达到３６０°／１０００。
谭敏
关键词：绕线机定子微机电机
亚微米电子束曝光机工件台控制系统
1995年
激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要功能是完成图形的拼接。本文描述了双频激光干涉仪，计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的ｘ－ｙ工件台，该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。
张福安谭敏
关键词：电子束曝光机双频激光干涉仪
单片机在激光工件台中的应用被引量：1
1994年
本文介绍单片机在双频激光干涉工件台位置显示和微动控制中的应用，由于采用单片机使激光工件台位置显示精度高，微动控制简单、可靠。显示分辨率０．０１μｍ，位置测量精度０．０２μｍ，测量最大距离３３０ｍｍ，（实际距离１００ｍｍ），微动距离５μｍ、１０μｍ、５０μｍ、１００μｍ四档。
张福安谭敏
关键词：电子束曝光机微处理机
湿法腐蚀制作微型针阵列
简要介绍利用湿法工艺制作微型针的工艺过程,这种微型针可以穿透皮肤,增强药物的渗透性,有可能为透皮性给药技术提供一种较好的解决方法.
杨忠山黄经简谭敏
关键词：微细加工
文献传递
可变矩形电子束曝光系统中的温度及微束流测量数据采集系统
1991年
大规模集成电路可变矩形电子束曝光机对温度、微束流等项测量提出了较高的要求。因此,我们已研制了分辨率为0.05℃的精密温度测量仪。为在变形束曝光机中实现自动温度和微束流测量,我们又研制了精密温度和微束流测量数据采集系统。实验证明,本系统的性能已达到设计要求。
程允惠唐晖谭敏
关键词：电子束曝光机温度束流
大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置
本发明公开了大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置，包括电子束通道管、聚光镜模块、过渡段模块、物镜模块、可动光阑模块、物镜光阑座和靶；聚光镜模块上端与电子枪连接，下端固连过渡段模块；过渡段模块下端固连物镜模块，物镜模块...
刘俊标韩立初明璋霍荣岭马玉田殷伯华谭敏李文萍
文献传递
大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置
本发明公开了大束流电子束打靶微束斑X射线源的聚焦装置，包括电子束通道管、聚光镜模块、过渡段模块、物镜模块、可动光阑模块、物镜光阑座和靶；聚光镜模块上端与电子枪连接，下端固连过渡段模块；过渡段模块下端固连物镜模块，物镜模块...
刘俊标韩立初明璋霍荣岭马玉田殷伯华谭敏李文萍
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