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许强
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
复旦大学物理学系李政道物理学综合实验室
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发文基金:
基础研究重大项目前期研究专项
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王建宝
复旦大学物理学系李政道物理学综...
袁健
复旦大学物理学系李政道物理学综...
陆昉
复旦大学物理学系李政道物理学综...
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掺硼
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王建宝
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物理学报
年份
1篇
1995
共
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重掺硼快速退火分子束外延硅的X射线衍射研究
被引量:1
1995年
利用X射线双晶衍射,测量了经过800—1100℃快速退火处理的重掺硼的分子束外延硅中的应变情况,发现应变部分弛豫.并得出外延层与衬底硅的晶格失配与替位硼浓度(7.5×10^(29)—3.1×10^(20)cm^(-3)成正比,比例系数β为5.1.在此测量基础上,提出硼团簇的形成与分解是外延展晶格质量与电学性质变化的主要原因.
许强
王建宝
袁健
陆昉
孙恒慧
关键词:
分子束外延
掺硼
快速退火
X射线
衍射
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