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  • 1篇1994
  • 1篇1990
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31 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
差动共焦内调焦法镜组光轴及间隙测量方法与装置
本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法镜组光轴及间隙测量方法与装置。该方法首先利用内调焦物镜结合自准直法对被测镜组的光轴进行精确调整,然后利用差动共焦定焦原理对被测镜组各表面实现高精度定位,并获得各定位...
赵维谦邱丽荣史立波李雅灿孙若端沙定国苏大图
文献传递
光学非球面面形拟合方法研究被引量:8
1995年
作者在研制一台高精度检测非球面仪器的过程中,探讨了二次和高次非球面面形方程参数的拟合方法。计算实例表明,线性化拟合法和非线性拟合法较圆满地达到了各种非球面面形拟合精度和实时处理的要求。
沙定国全书学朱秋东苏大图
关键词:非球面线性化光学
一种光学非球面检测技术中的数据处理问题被引量:8
1995年
本文介绍一种激光束平移转动法检测光学非球面,较好地克服了以往各种检测方法的局限性。文中着重介绍该方法的数学模型、精度分析、非球面参数拟合及面形质量评价等数据处理问题。以计算实例说明激光束平移转动法检测非球面具有通用性强、精度高、测量周期短等特点。
沙定国全书学朱秋东苏大图
关键词:非球面光学数据处理
一种光刻机物镜掩膜照明条件下杂光系数测试装置
本发明涉及一种光刻机物镜掩膜照明条件下杂光系数测试装置,属于光电测试技术领域。本发明包括内置在积分球内的光源、放置在积分球出口光路上的掩膜板、掩膜板透射光路上的光刻物镜、以及中继光学系统、带牛角消光管、光电探测器的积分球...
周桃庚赵维谦张旭升沙定国何川陈凌峰林家明邱丽荣苏大图
文献传递
高精度 OTF 标准望远镜的研制
1998年
目的为建立国防光学计量最高标准,研制光学传递函数(OTF)标准望远镜.方法采用放宽制造公差、合理确定波像差水平的设计原则和方法,解决高精度检测光学结构参数,准确计算和测量MTF及其不确定度评定等关键技术.结果6具两种工作视度的标准望远镜的计量性能均达要求,其MTF扩展不确定度达到轴上0.03,轴外0.06.结论研制的OTF标准望远镜的性能是迄今国际报道中最好的.
沙定国苏大图尹芬张喆民魏全忠齐晓慧徐芳
关键词:光学传递函数望远镜
基于差动共焦技术的透镜折射率与厚度的测量方法及装置
本发明涉及一种基于差动共焦技术的透镜折射率与厚度的测量方法及装置,属于光学精密测量技术领域,用于球面透镜折射率和厚度的高精度测量。本发明基于光线追迹原理,利用激光差动共焦响应曲线的绝对零点来精确确定被测透镜前表面与光轴交...
赵维谦王允邱丽荣沙定国苏大图
文献传递
一种光刻机物镜点光源工作条件下杂光系数测试装置
本发明涉及一种光刻机物镜点光源工作条件下杂光系数测试装置,属于光电测试技术领域。本发明旨在解决影响光刻质量的成像物镜像面杂光这个关键成像性能的高精度测量与评估。本发明由点光源照明系统、光刻物镜、像方接收系统组成;光刻物镜...
赵维谦周桃庚张旭升沙定国何川陈凌峰林家明邱丽荣苏大图
文献传递
光学材料折射率和色散的高精度测量技术研究被引量:5
1990年
本文探讨了在一般精度的测角仪器上达到高精度测量折射率和色散的新原理和新方法,这些新原理和方法包括:光学角规补偿法测色散、直角照射法、自准封闭式最小偏向角法。通过实际大量的测量工作证明在1″测角仪(测角精度为3″)和测微望远镜上,上述原理方法都可以达到△n~±3×10^(-6),△(n_λ_1-n_λ_2)~±2×10^(-6)的精度。
林家明苏大图
关键词:光学材料折射率色散测量技术
差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法
本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜,使用自准直法,对透镜光轴进行高精度调整,使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的...
赵维谦邱丽荣杨佳苗潘莹莹孙若端沙定国苏大图
文献传递
基于数字图像的军用光学仪器参数测试技术进展被引量:3
2006年
军用光学仪器参数综合测试技术是研究基于数字图像法实现对军用光电火控装备的视场,视差、视度、放大率、出瞳、像倾斜、分辨率、光学传递函数、透射比、倍率色差、焦距、畸变和照度均匀性以及多光轴一致性等各种光学和光电性能参数的准确、快速、简便、高效的测试,以摆脱单一参数、人工目视操作的传统光学检具的模式,适应新武器和高科技工程对光学和光电性能参数测试的需求.概要介绍如下研究内容:(1)液晶光电图形发生器技术.将液晶光电图像发生器成功用于光学测试,需要解决分划图案对比度、噪声、照明均匀、光照强度,以及液晶器件空间分辨率受限等一系列问题,以保证光电分划图案的高分辨率、高对比度、高均匀度.其中,优选液晶器件及其分划图案信号生成、传输与驱动等关键技术.(2)CCD 光电像分析器技术.包括 CCD 光电像分析器硬件的光机电一体化设计、分划图像采集与处理软件,最终实现光电调焦、光电时准、光电测角、光电测光度量、光电测调制度量等五种基本测试功能.光电像分析器采用高性能面阵 CCD 进行图像实时采集,避免了机械扫描等机电器件带来的测量效率低、速度慢、精度低等问题,但要解决好其本身的成像调制度、线性响应、亮度均匀性等性能的标定与校准问题.另外,光电像分析器需要适应望远和显微两种接收光束结构,还要适应望远试样0视度和多个非0视度的测试功能,以及显微试样大视场小倍率找像和小视场大倍率精细调焦的测试功能.基于数字图像法的光电自动定焦和对准是光电像分析器的一个核心技术,我们从点目标和面目标两个方面都达到了高于目视定焦五倍以上的精度.(3)较大规模的测控软件包研发.该软件功能包括综合测试系统机构的多维精密调整控制、光电图像采集、处理与综合分析、测
林家明沙定国张旭升何川苏大图周桃庚陈凌峰
关键词:数字图像光学仪器参数测试
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