杨杰 作品数:15 被引量:58 H指数:4 供职机构: 中北大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 机械工程 电子电信 电气工程 自动化与计算机技术 更多>>
MEMS压电-磁电复合式振动能量采集器 被引量:10 2015年 具有高能量输出密度的自我供电振动能量采集技术有着迫切的应用需求,是智能化MEMS器件系统发展的重要方向。研究了一种可将外界环境振动能转化为电能的MEMS压电-磁电复合振动能量采集器,其综合了压电发电和磁电发电的优势,为新型MEMS供电研究提供了新思路。利用溶胶-凝胶工艺完成锆钛酸铅(PZT)压电功能薄膜的制备,采用MEMS加工技术完成器件四悬臂梁-中心质量块基础结构的设计和制作,结合集成封装技术实现微结构与永磁铁的微组装。测试结果表明:在一阶谐振频率247 Hz,10 g加速度激励的振动状态下,器件压电部分压电敏感单元与磁电部分电感线圈的单位体积最大有效输出电压分别为2.066×107和5.002×106 mV/cm3。 杨杰 许卓 安坤 陈晓勇 丑修建关键词:压电式 电磁式 大量程纳米位移传感器的微纳加工制造 被引量:1 2015年 针对解决大量程纳米位移精度测量难度大的问题,提出了新型纳米时栅传感器。就大量程、高精度位移传感器的亚微米精度加工而言,宏观尺度范围内周期性结构单元一致性制造是保证位移传感器可靠性和高精度测量的关键所在。对上述提出的问题,采用高精度自动拼接曝光技术加工并实现了大量程标尺的图形转移,结合微纳加工方式实现时栅传感器亚微米级精度的制造。通过实验验证所加工出的样机能够达到预期目标,并且测量误差峰值在500 nm以内。 许卓 杨杰 王成 陈东红 丑修建关键词:时栅 一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥 本发明提供了一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥,由基底层、绝缘层、反射层、半导体桥层、分立焊锡层和分立的电极层自下而上顺序叠加而成;矩形半导体硅构成基底层;与基底层同尺寸的二氧化硅构成绝缘层,绝缘层覆盖在基底层上;反... 陈晓勇 丑修建 熊继军 穆继亮 安坤 杨杰 李惠琴 许卓 孙玉虹 曹嘉峰文献传递 原子层沉积技术在微纳器件中的应用研究进展 被引量:2 2015年 原子层沉积(ALD)是一种新型的精确表层薄膜制备技术,具有沉积面积大、薄膜均匀、膜厚纳米级可控生长、低温性等特点,适用于纳米多孔和高深宽比基底材料,可应用于三维微纳结构器件的功能薄膜材料制备,广受国内外学术界和工业界的关注。综述了ALD技术发展历史和技术原理,介绍了ALD技术在微纳器件中的应用进展,涉及半导体微纳集成电路、微纳光学器件、微纳米生物医药等高新技术领域,对ALD技术当前存在的问题进行了分析,并展望了未来发展方向。 李惠琴 陈晓勇 王成 穆继亮 许卓 杨杰 丑修建 薛晨阳 刘俊关键词:原子层沉积 纳米多孔结构 硅基MEMS压电式振动能量采集器设计制造及其性能研究 MEMS振动能量采集器具有体积小、灵敏度高、可实现微小型化制造、寿命长、环境适应性强、能量密度和转换效率高等特点,它可以通过机械振动能量拾取装置将环境中普遍存在的振动能转换成电能,进而有望全天候地为无线传感器网络节点、野... 杨杰关键词:机械振动 机械量传感器 传感器设计 文献传递 一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥 本实用新型提供了一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥,由基底层、绝缘层、反射层、半导体桥层、分立焊锡层和分立的电极层自下而上顺序叠加而成;矩形半导体硅构成基底层;与基底层同尺寸的二氧化硅构成绝缘层,绝缘层覆盖在基底层上... 陈晓勇 丑修建 熊继军 穆继亮 安坤 李惠琴 杨杰 许卓 孙玉虹 曹嘉峰文献传递 微型振动式能量采集器研究进展 被引量:28 2015年 振动能量采集器具有体积小、寿命长、高能量密度的特点成为当前广泛研究的重要微能源器件之一。重点介绍了基于电磁式、压电式、静电式、磁致伸缩式、复合式等采能原理的能量收集模块,系统综述了上述能量采集模块的优缺点、国内外现状及未来发展趋势;同时综述了微能源重要组成部分——电源管理和储能电路模块的研究现状,最后展望了振动式微能源器件的发展前景与趋势。 许卓 杨杰 燕乐 曹嘉峰 陈晓勇 丑修建关键词:振动 电源管理 一种磁性颗粒表面包覆氧化硅保护层的装置和方法 本发明涉及磁性材料制备领域,具体涉及一种磁性颗粒表面包覆氧化硅保护层的装置和方法;在流化床反应器内将磁性颗粒流态化,首先对磁性颗粒表面均匀涂覆正硅酸乙酯,再通入湿气体使正硅酸乙酯逐步发生水解缩合反应,在磁性颗粒表面生成氧... 李裕 李潇潇 杨杰 路欣弛 柳来栓MEMS压电-磁电复合式振动驱动微能源的设计 被引量:8 2015年 在单一效应的MEMS振动驱动微能源的基础上,提出了一种MEMS压电-磁电复合振动驱动微能源器件。该微能源由八悬臂梁-中心质量块结构和永磁铁两部分组成,环境振动使中心质量块振动,PZT压电敏感单元由于压电效应产生电势差;同时中心质量块上集成的高密度线圈切割磁感线产生感应电动势,将压电转换与磁电转换相结合把振动能转换为电能。建立了该结构的数学模型并用有限分析软件Ansys12.0对该器件进行力学特性分析,最后对加工出的微能源进行性能测试。测试结果表明,该微能源谐振频率为8 Hz,易与环境发生共振;在共振条件下,施加1 gn的加速度,器件压电发电开路输出电压峰峰值达154 m V,磁电发电开路输出电压峰-峰值达8 m V,有望为无线传感网络节点提供稳定的能源。 贺婷 杨杰 孔龄婕 陈晓勇 陈东红 燕乐 丑修建一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥 本发明提供了一种复合自加热反射层聚能的半导体点火桥,由基底层、绝缘层、反射层、半导体桥层、分立焊锡层和分立的电极层自下而上顺序叠加而成;矩形半导体硅构成基底层;与基底层同尺寸的二氧化硅构成绝缘层,绝缘层覆盖在基底层上;反... 陈晓勇 丑修建 熊继军 穆继亮 安坤 杨杰 李惠琴 许卓 孙玉虹 曹嘉峰