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侵彻武器用MEMS大G值加速度计被引量：5: 2002年; 侵彻武器用大G值加速度计，不仅需要有较宽的加速度测量范围，还有较强的抗冲击能力。介绍利用MEMS技术研制出的可满足侵彻武器应用需求的集成大G值加速度计，通过分析工作原理、机械结构、信号处理线路的设计，针对实验结果提出了在实际工程应用中还需进一步解决的问题。; 屈新芬杨晴等; 关键词：MEMS 侵彻武器微机电系统电容式传感器

压电马达功率驱动电路优化设计: 压电马达利用陶瓷逆压电效应运转.行波型压电步进马达自锁力矩高,需要两相高压交流信号进行驱动.传统的驱动电路通过电感与马达构成谐振升压电路产生高压.分析指出了传统电路的缺点在于两相谐振电路的输出信号不均衡且不稳定.针对不足...; 李寅鑫杨晴张德; 关键词：功率因数; 文献传递

一种缩短微电铸加工时间的方法: 本发明提供了一种缩短微电铸加工时间的方法，属于微电铸工艺技术领域。本发明提供的缩短微电铸加工时间的方法，包括在衬底上依次制备第一光刻板、第一电镀镍、第一次平坦化、第二光刻板、第二电镀镍、去胶处理、电镀铜、第二次平坦化、去...; 丰伟郑英彬王颉杨晴唐彬支钞高彩云孙强张青芝王旭光; 文献传递

影响弹丸侵彻性能的因素分析及引信方案探讨被引量：32: 2003年; 从硬目标灵巧引信方案设计的角度出发,提出并分析了影响高G值加速度计所敏感的加速度值的几个关键因素:目标介质、着角、着速、加速度传感器安装位置、运载平台等对弹体倾彻性能的影响;在分析的基础上,对硬目标灵巧引信进行了初步的方案探讨;最后,给出了一设计实例。; 屈新芬商顺昌杨晴; 关键词：加速度传感器

高功率激光能量续断器: 本实用新型提供了一种高功率激光能量续断器，所述的续断器包括步进电机、底座、多模光纤、光纤定位槽和凸轮。多模光纤包括一个移动光纤和一个固定光纤，光纤定位槽通过支架固定设置在底座上，移动光纤和固定光纤分别设置于光纤定位槽内，...; 赵兴海高杨杨波杨晴苏伟程永生; 文献传递

一种机电式单相步进电动机: 本发明的机电式单相步进电动机包括定子、转子和凸轮、弹簧拨杆机构，定子采用通孔式结构，转子位于定子的通孔内，转子铁芯套在电机轴上；在电机轴(16)上固定有凸轮(9)；凸轮(9)与弹簧拨杆机构的一端滑动相连，弹簧拨杆机构的另...; 杨晴秦剑飞文贵印; 文献传递

电化学沉积工艺的优化被引量：2: 2021年; 电化学沉积由于可以加工基于非硅材料、高深宽比和免装配的复杂三维装置而极具潜力和优势,但是也存在加工周期长和成品率低的缺点。针对电化学沉积的缺点对加工工艺进行优化,包括工艺流程、去胶、清洗、平坦化和铜刻蚀,并通过加工一个5层微齿轮传动装置来比较优化前后的加工时间和成品率。测试结果表明:工艺流程优化将加工2层的用时从246 h缩短到201 h,缩短了约18.3%;去胶工艺的优化将去胶速度提高到1μm/min;清洗工艺的优化提高了层与层之间的结合力,提高了成品率;平坦化工艺的优化将平坦化工艺用时从40 h缩短到24 h,缩短了约40%;铜刻蚀工艺的优化将铜刻蚀工艺用时从60 h缩短到24 h,缩短了约60%。5层微齿轮传动装置的总加工时间从675 h缩短到357 h,缩短了约47.1%;成品率从约4.5%提高到约90.9%。产品测试结果显示器件的加工尺寸与设计尺寸较一致。; 丰伟王颉郑英彬杨晴唐彬支钞高彩云孙强; 关键词：电化学沉积平坦化刻蚀

一种机电式单相步进电动机: 本发明的机电式单相步进电动机包括定子、转子和凸轮、弹簧拨杆机构,定子采用通孔式结构,转子位于定子的通孔内,转子铁芯套在电机轴上;在电机轴上固定有一个凸轮;凸轮与弹簧拨杆机构的滚子端相联;弹簧拨杆机构的另一端固定在定子上。...; 杨晴秦剑飞文贵印; 文献传递

永磁复合式单相步进电机: 本发明提供了一种永磁复合式单相步进电机，电机包括定子、转子、防反转棘轮棘爪机构、前端盖、后端盖等部分，定子的永磁极上绕有线圈绕组，转子的凸极上带有凸起；转子凸极上的凸起结构鹰嘴形。它可由单极性脉冲电源驱动，能提供较大的输...; 秦剑飞杨晴鄂峻膺; 文献传递

一种缩短微电铸加工时间的方法: 本发明提供了一种缩短微电铸加工时间的方法，属于微电铸工艺技术领域。本发明提供的缩短微电铸加工时间的方法，包括在衬底上依次制备第一光刻板、第一电镀镍、第一次平坦化、第二光刻板、第二电镀镍、去胶处理、电镀铜、第二次平坦化、去...; 丰伟郑英彬王颉杨晴唐彬支钞高彩云孙强张青芝王旭光; 文献传递

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杨晴