杨广立
- 作品数：12 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 微机械反射式光读出非制冷红外成像阵列器件研究
- 近年来，随着MEMS技术的发展，基于MEMS技术的光读出非致冷红外成像器件由于不需要昂贵的致冷设备和复杂的读出电路，成为研究的热点。
本文研究了针对8-14μm红外波段的反射式光读出非致冷红外成像阵列器件。像元基本...
- 杨广立
- 关键词：微机电系统温度补偿
- 文献传递
- 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
- 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研...
- 冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
- 关键词：焦平面阵列
- 文献传递
- 一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计被引量：2
- 2007年
- 提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。
- 杨广立冯飞熊斌王跃林
- 关键词：噪声等效温差
- 一种基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法
- 本发明涉及一种新的基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法，其特征在于采用硅作为牺牲层，采用SiO<Sub>2</Sub>、SiN<Sub>x</Sub>、SiC、Au、Al及Cr等XeF<Sub>2</Sub>气...
- 冯飞熊斌杨广立王跃林
- 文献传递
- 室温法布里－珀罗红外探测器阵列及其制作方法
- 本发明涉及一种室温F-P红外探测器阵列及制作方法，其特征在于硅基底和可动微镜之间构成了红外谐振腔，可动微镜和带有高反膜的玻璃之间构成F-P腔。其制作特征在于采用普通硅片，首先通过腐蚀硅确定F-P腔的长度，通过制作牺牲层确...
- 冯飞王跃林杨广立熊斌焦继伟
- 文献传递
- 室温法布里－珀罗红外探测器阵列及其制作方法
- 本发明涉及一种室温F－P红外探测器阵列及制作方法，其特征在于硅基底和可动微镜之间构成了红外谐振腔，可动微镜和带有高反膜的玻璃之间构成F－P腔。其制作特征在于采用普通硅片，首先通过腐蚀硅确定F－P腔的长度，通过制作牺牲层确...
- 冯飞王跃林杨广立熊斌焦继伟
- 文献传递
- 一种基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法
- 本发明涉及一种新的基于双材料效应的微机械红外探测器阵列的制作方法，其特征在于采用硅作为牺牲层，采用SiO<Sub>2</Sub>、SiN<Sub>x</Sub>、SiC、Au、Al及Cr等XeF<Sub>2</Sub>气...
- 冯飞熊斌杨广立王跃林
- 文献传递
- 二氟化氙气体腐蚀过程中锚的制作方法
- 本发明涉及一种XeF<Sub>2</Sub>腐蚀过程中锚的制作方法，其特征在于将SiO<Sub>2</Sub>、SiNx、SiC、Au、Al及Cr等XeF<Sub>2</Sub>气体几乎不腐蚀的材料淀积在要保护的锚周围，...
- 冯飞熊斌杨广立王跃林
- 文献传递
- 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术被引量：1
- 2007年
- 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研究者已发展了基于表面微机械、体微机械以及表面/体微机械工艺的3种制作技术,前两者各有优缺点,而基于表面/体硅微机械工艺的制作技术则兼顾了前两者的优点。
- 冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
- 关键词：焦平面阵列
- 一种光读出非致冷红外成像阵列器件及其制作方法
- 本发明涉及一种光读出非致冷红外成像阵列器件及其制作方法，其特征在于：由硅衬底上一系列像素单元组成，每个像素单元的两个锚柱立于硅衬底上，支撑像素单元，两条绝热梁一端与锚柱相连接，另一端与“双材料梁－微镜一体化”结构相连接，...
- 杨广立冯飞熊斌王跃林
- 文献传递
