李晔辰
- 作品数：3 被引量：27H指数：2
- 供职机构：沈阳工业大学更多>>
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- 硅电容式差压传感器的研制
- 硅电容式差压传感器在国际上刚刚崭露头角,在国内尚属空白,此项目被国家列为'十五'攻关课题,以填补国内空白,适应市场的大量需求.该文介绍了几种硅电容式差压传感器的设计方案,并且考察了仪表所现有的工艺条件和技术水平,比较各种...
- 李晔辰
- 关键词：硅电容差压传感器MEMSANSYS
- 文献传递
- 硅片键合技术的研究进展被引量：23
- 2002年
- 硅片键合技术是指通过化学和物理作用将硅片与硅片、硅片与玻璃或其它材料紧密地结合起来的方法。硅片键合往往与表面硅加工和体硅加工相结合,用在MEMS的加工工艺中。常见的硅片键合技术包括金硅共熔键合、硅/玻璃静电键合、硅/硅直接键合以及玻璃焊料烧结等。文中将讨论这些键合技术的原理、工艺及优缺点。
- 李和太李晔辰
- 关键词：硅片键合MEMS阳极键合
- ANSYS在硅岛膜设计中的应用被引量：3
- 2002年
- ANSYS是计算机辅助工程分析中一套应用广泛的工程分析软件,它可以应用于诸如机械、航天、土木、电子等不同的领域。本文正是充分利用了ANSYS软件的有限元分析功能,将硅岛膜在受一定压力下的位移变化进行分析,再根据硅岛膜的其它尺寸要求,可以取得硅岛膜的最佳尺寸。
- 李晔辰孙承松
- 关键词：ANSYSCAD有限元
