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夏敦柱
作品数:
130
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H指数:6
供职机构:
东南大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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交通运输工程
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合作作者
王寿荣
东南大学仪器科学与工程学院
虞成
东南大学
周百令
东南大学仪器科学与工程学院
孔伦
东南大学
高海钰
东南大学
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微谐振器
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东南大学
作者
130篇
夏敦柱
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王寿荣
21篇
虞成
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周百令
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2006
1篇
2005
1篇
2004
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一种可在湿法腐蚀下实现样片单面保护的夹具及其加工装配方法
本发明公开了一种可在湿法腐蚀下实现样片单面保护的夹具及其加工装配方法,夹具包括一对单面保护装置、底座和外容器,其中,每个单面保护装置上均装配一个待腐蚀样片,一对单面保护装置平行对称固定在底座上,单面保护装置与底座组装完成...
夏敦柱
王浩
文献传递
一种电机锥形转子压铸和压装自动化生产系统
本发明公开一种电机锥形转子压铸和压装自动化生产系统,压铸工作台安装于压铸机的正前方,压装机通过第四传送带与压铸机相连接且压装机位于压铸工作台的前方;压铸机的后方还安装有五连杆给汤机和电磁感应熔铝机,压铸机上设置有向后延伸...
夏敦柱
姚艳红
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一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法
本发明公开了一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法,MOEMS陀螺仪包括器件层、金属引线层和衬底层,金属引线层介于器件层和衬底层之间。器件层包括机械模块、静电驱动模块、光学敏感模块和支撑框架。其中机械模块由质量...
夏敦柱
杨秀华
赵立业
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一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法
本发明公开一种单片集成六自由度微惯性测量单元及其加工方法,包括键合安装于玻璃基底中心位置的主单元结构,主单元结构呈正方形,包括三轴加速度计单元和三轴陀螺仪单元;三轴陀螺仪单元包括四个结构相同的正方形框架,正方形框架内侧边...
夏敦柱
文献传递
一种纵向双腔原子气室及其制备方法
本发明公开了一种纵向双腔原子气室及其制备方法,由玻璃、硅片、玻璃依次键合而成;所述原子气室包括设在上层玻璃和硅片之间的上层气室,与上层气室相连通、刻蚀在硅片上的用于吹制上层气室的凹槽,刻蚀在下层玻璃上的反应室,与凹槽、反...
夏敦柱
葛飞
李锦辉
金伟明
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一种整体式微半球谐振陀螺仪及其加工封装方法
本发明公开一种整体式微半球谐振陀螺仪及其加工封装方法,整体式微半球谐振陀螺仪包括半球壳谐振子、支撑柄、上层玻璃衬底、下层玻璃衬底、中间硅衬底、外围锚点结构、电极、第一电极孔、焊盘、金属掩膜层、金属引线和第二电极孔;上层玻...
夏敦柱
宫旭亮
徐磊
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一种温度可调式双回路多通道宽幅膜压机用版辊
本发明公开一种温度可调式双回路多通道宽幅膜压机用版辊,包括主轴体、油路轴、水路轴、油路通道、水路通道、油路出管、水路进管、水路出管和隔离板,主轴体为中空结构,包括内腔和轴壁;油路通道和水路通道设在主轴体的轴壁内,油路轴和...
夏敦柱
孔伦
李宏生
王寿荣
虞成
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硅基三平衡环动调陀螺转子体结构与加工方法
本发明公开了一种硅基三平衡环动调陀螺转子体结构,包括一个内环、一个转子和三个独立的平衡环,所述内环、转子和平衡环均为空心圆柱体结构,所述内环与电机转子体固定连接,且设置在转子内,所述平衡环设置在内环和转子之间,并且通过内...
夏敦柱
虞成
李宏生
王寿荣
周百令
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一种三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪及其制备方法
本发明公开一种三片组装式硅基超薄微半球谐振陀螺仪,包括第一硅片、第二硅片、第三硅片、微半球壳、驱动电极和检测电极,第一硅片设在第二硅片的上方、第三硅片设在第二硅片的下方;微半球壳设在第一硅片和第二硅片之间,微半球壳壳底与...
夏敦柱
孔伦
虞成
胡异炜
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一种基于纳米光栅的MOEMS陀螺仪及其加工方法
本发明公开了一种基于纳米光栅的MOEMS陀螺仪及其加工方法,陀螺仪由上至下依次包括:盖帽、微谐振器和衬底,所述微谐振器为双质量块结构微谐振器,包括质量块、驱动框架和解耦梁结构,驱动框架设在质量块对边外围,解耦梁结构与质量...
夏敦柱
黄泠潮
赵立业
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