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周金金
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华东理工大学化工学院联合化学反应工程研究所
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相关领域:
化学工程
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合作作者
张新胜
华东理工大学化工学院联合化学反...
王伟
华东理工大学化工学院化学工程联...
罗耀明
华东理工大学化工学院联合化学反...
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2009年第...
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上海市化学化...
年份
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2009
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离子交换树脂提纯四甲基氯化铵的研究
电子级四甲基氢氧化铵水溶液在电子行业中广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂,印刷电路板和微电子芯片制造中的显影剂等。随着微电子工业的迅猛发展,对四甲基氢氧化铵的纯度要求越来越高,用于电子工业中的四甲基氢氧化铵要求其金属离子均不
周金金
王伟
张新胜
关键词:
离子交换树脂
提纯
用于提纯四甲基碳酸氢铵的树脂的再生条件探索
四甲基氢氧化铵(TMAH)是一种强的有机碱,无色、无臭,在室温下蒸汽压也低,在135-140℃完全气化,高纯品在140℃低温处理也无微量残渣。含TMAH1% (wt)溶液的PH值为12.9,是一种碱性与苛性碱同等程度的有...
周金金
罗耀明
张新胜
关键词:
有机碱
印刷电路板
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