刘祖韬
- 作品数：14 被引量：14H指数：2
- 供职机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种改进的旋转式微机械结构被引量：2
- 2005年
- 给出了一种改进的旋转式微机械薄膜残余应变测试结构.与已有的普通微旋转结构相比,改进的微旋转结构执行梁的宽度都保持一致.改进的微旋转结构在旋转变形之后,整个执行梁都会发生弯曲变形,所以在变形之后结构的残余应力非常小且分布均匀,没有普通微旋转结构的高应力集中,因此测量精度高于传统微旋转结构,更适合于高残余应变薄膜的测试.文中详细推导了改进微旋转结构的力学模型,并用有限元软件进行了模拟分析,同时详细地给出了改进的微旋转结构与传统微旋转结构的性能对比,最后用实验对改进微旋转结构的理论模型进行了验证.
- 刘祖韬黄庆安李伟华
- 关键词：微机械有限元分析
- 多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法
- 多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构是基于表面加工工艺的多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构，该测试结构由三个多晶硅弯梁即第一弯梁(101)、第二弯梁(102)、第三弯梁(103)和四个压焊块即第一压焊块(105)、第二压焊块(...
- 黄庆安刘祖韬李伟华
- 文献传递
- 一种新型微机械锚
- 2003年
- 在不增加薄膜层数的前提下设计出一种新型的薄膜微机械锚结构。新型微机械锚与传统微机械锚相比具有更大的厚度和合理的形状 ,其刚度得到很大增强。有限元的模拟表明 ,新型微机械锚不仅能向连接在其结构上的其他微结构提供更高的支撑力 。
- 刘祖韬黄庆安
- 关键词：微机械系统集成电路谐振频率
- 多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统
- 2005年
- 建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成.
- 刘祖韬黄庆安李伟华
- 关键词：多晶硅
- MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计
- 2007年
- 为了实现MEMS薄膜材料参数的在线测试,设计了MEMS薄膜吸合电压在线测试系统。该测试系统由测控软件、测试硬件平台与测试微结构构成,能够全自动地快速完成薄膜吸合电压的在线测试,并立即输出薄膜的杨氏模量与残余应力。测试系统最大可测试100V的吸合电压,测试精度为±1.0V。最后对由标准牺牲层加工工艺制作的多晶硅双端固支梁进行了测试实验,并给出了测试数据,实验结果表明本测试系统具有高精度、快速测试的优点,适合于工业生产的大批量测试需求。
- 李巧萍李伟华聂萌刘祖韬
- 关键词：MEMS数据采集
- 多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构
- 多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构是基于表面加工工艺的多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构，该测试结构由三个多晶硅弯梁即第一弯梁(101)、第二弯梁(102)、第三弯梁(103)和四个压焊块即第一压焊块(105)、第二压焊块(...
- 黄庆安刘祖韬李伟华
- 文献传递
- 微机械式薄膜残余应变测试结构的研究
- 该文基于现有的薄膜残余应变测试方法,设计出能够用于工业生产监控的微机械式残余应变测试结构及其测量结果处理应用程序.微机械式残余应变测试结构是利用MEMS技术制作出的微机械式测试结构,其工作原理是它自身所具有的特殊结构使它...
- 刘祖韬
- 关键词：微结构MEMS
- 文献传递
- 多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统
- 本文建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个...
- 刘祖韬黄庆安李伟华
- 关键词：多晶硅薄膜
- 文献传递
- 测试薄膜残余应力的弯梁微结构
- 薄膜的残余应力对MEMS器件有较大的影响,因此残余应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的.本文介绍了薄膜残余应力的弯梁式测试微结构的设计制作方法,详细分析该结构的模型与实际测量的精度、误差和制造的工艺流程,最后把...
- 刘祖韬黄庆安
- 关键词：残余应力微结构MEMS应力测试
- 文献传递
- 表面加工多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统研究
- MEMS(微电子机械系统)器件的尺寸一般在几微米到几百微米之间,现有的研究表明微尺寸下的材料参数已经和宏观状态下有所不同。而现代主流微加工技术为表面牺牲层工艺,由该工艺制作的MEMS器件主要由薄膜所构成,薄膜的材料参数和...
- 刘祖韬
- 关键词：微电子机械系统多晶硅MEMS器件
- 文献传递
