令小波
- 作品数：8 被引量：0H指数：0
- 供职机构：兰州交通大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
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- 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，...
- 王良璧周文和王良成杨建红常青令小波胡万林任学昌
- 燃料电池用湿度传感元件的研制
- 通过氧化SiO2绝缘层、蒸镀平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钼和铝为电极材料,制作了平行板电容式湿度传感元件。详细介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,对成品感湿元件...
- 周文和王良成王良璧刘倩胡万玲令小波
- 关键词：聚酰亚胺湿度传感器电容式传感器
- 燃料电池用湿度传感元件的动态标定
- 介绍了以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的动态响应特性要求和动态响应特性测试系统,测试了感湿元件的动态响应特性,对测试结果进行了分析。结果表明,本文测试的感湿元件满足课题的...
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- 关键词：聚酰亚胺湿度传感器电容式传感器
- 燃料电池用湿度传感元件的研制
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- ZHOU Wen-he周文和WANG liang-cheng王良成WANG Liang-bi王良璧LIU Qian刘倩HU Wan-ling胡万玲LING Xi ao-bo令小波
- 关键词：燃料电池湿度传感器感湿机理
- 燃料电池用湿度传感元件的静态标定
- 介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的湿敏静态特性要求和湿敏静态特性测试系统，测试了感湿元件的静态湿敏特性，对测试结果进行了分析，此外，利用数值模拟对感湿元件的湿容特性...
- WANG Liang-cheng王良成ZHOU Wen-he周文和WANG Liang-bi王良璧LIU Qian刘倩HU Wan-Ling胡万玲LING Xiao-bo令小波
- 关键词：燃料电池湿度传感器性能表征
- 燃料电池用湿度传感元件的静态标定
- 介绍了以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的湿敏静态特性要求和湿敏静态特性测试系统,测试了感湿元件的静态湿敏特性,对测试结果进行了分析,此外,利用数值模拟对感湿元件的湿容特性...
- 王良成周文和王良璧刘倩胡万玲令小波
- 关键词：聚酰亚胺湿度传感器电容式传感器
- 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件及其制作方法
- 一种聚酰亚胺膜微型快速响应湿度传感元件，为高分子平行板电容式结构，上层金属层为上电极，下层金属层为下电极，上、下金属层之间为感湿层，其特征在于所述上电极为栅状布置，所述感湿层以聚酰亚胺为感湿膜。制作方法是采用微电子工艺，...
- 王良璧周文和王良成杨建红常青令小波胡万林任学昌
- 文献传递
- 燃料电池用湿度传感元件的动态标定
- 介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的动态响应特性要求和动态响应特性测试系统，测试了感湿元件的动态响应特性，对测试结果进行了分析。结果表明，本文测试的感湿元件满足课题的...
- ZHOU Wen-he周文和WANG Liang-cheng王良成WANG Liang-bi王良璧HU Wan-Ling胡万玲LIU Qian刘倩LIN Xiao-bo令小波
- 关键词：燃料电池湿度传感器系统设计
