于文波
- 作品数：5 被引量：7H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省留学归国人员基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程经济管理更多>>
- 六自由度测量中的二维检测关键技术研究
- 在光刻机制造中,工件台是关键部件之一。工件台的六自由度测量由多轴双频激光干涉仪完成,而在干涉仪工作前必须为其提供绝对参考零位,故而需要一种快速有效的六自由度测量方法来提供该零位。目前的六自由度测量方法中,三坐标测量法须将...
- 于文波
- 关键词：光刻机工件台位置敏感探测器角锥棱镜漂移补偿
- 文献传递
- 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置与方法
- 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置与方法属于半导体制造装备技术领域，具体涉及一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置；本发明装置引入了频率稳定的激光二极管为光源，二维PSD为光电元件，将光源部分与二维PSD集成...
- 黄向东谭久彬于文波
- 文献传递
- 远东能源公司在华发展煤层气战略研究
- 本文首先系统地阐述了我国煤层气产业发展的现状和意义.发展煤层气对于改善我国能源结构,提高能源使用效率,缓解能源供应紧张,控制大气污染,改善煤矿安全生产状况,提高国民生活质量等方面具有重要的现实意义.为促进我国煤层气产业的...
- 于文波
- 关键词：煤层气能源结构人力资源企业管理
- 文献传递
- 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量方法
- 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置与方法属于半导体制造装备技术领域，具体涉及一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置；本发明装置引入了频率稳定的激光二极管为光源，二维PSD为光电元件，将光源部分与二维PSD集成...
- 黄向东谭久彬于文波
- 文献传递
- 二维位移测量中激光漂移实时补偿方法研究被引量：6
- 2014年
- 激光漂移是影响二维位移测量精度的主要因素之一。为了消除激光光源漂移对二维位移测量结果的影响,提出了一种双光路激光漂移实时补偿的方法。在二维位移测量系统中,根据测量光路结构工作机理建立了激光光源平漂和角漂对位移测量产生误差的模型,通过参考光路监测激光的漂移量,并利用误差模型将漂移量经过转换后补偿到测量结果中。理论分析表明,本文方法能够实现对平漂和角漂的完全补偿。分析了实际光路布置中的结构参数误差对补偿效果的影响,基于此选择光路的结构参数。实验结果显示,使用双路激光漂移补偿方法后,可以使8h内的X方向和Y方向的漂移量分别减少55.1%和73.3%。
- 黄向东于文波谭久彬
- 关键词：角锥棱镜
