万蔡辛
- 作品数：19 被引量：20H指数：3
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术航空宇航科学技术理学更多>>
- 大载荷冲击后静电力反馈微加速度计吸合研究
- 冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使原来的敏感质量在平衡位置附近发生小位移时成功建立的负反馈闭环系统模型不再适用,敏感质量的受控特性可能变为正反馈,使得微加...
- 万蔡辛董景新刘云峰
- 关键词：微机电系统加速度计可靠性
- 文献传递
- 微机械加速度计校正电路的工程设计
- 2010年
- 梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器，通过静电力反馈构成力平衡式的闭环系统。为了满足稳定性、快速性等要求，需要采用校正电路。微机械表头性能具有较大的离散性是工程中的常见问题。本文根据控制理论结合工程试验，针对表头转角频率和低频增益等参数对校正电路设计方案进行分类。使系统在满足带宽的前提下，在全量程范围内具有充足的稳定裕量。并且，为了适应工程应用，电路形式采用两个运放，保证了电路形式的简单，为电路冗余设计提供了方便。通过较多数量的试验验证，此种方法对闭环系统的稳定性、带宽有很好的控制作用。
- 胡淏董景新万蔡辛
- 关键词：微机械加速度计校正电路冗余设计
- 自动恒温加热装置
- 自动恒温加热装置，属于MEMS惯性敏感器件封装级别进行加热恒温控制技术领域。该装置包括外层的封装外壳、内层的封装外壳、封装内腔、MEMS加速度计敏感元件、加热装置、温度敏感元件以及恒温控制电路；外层的塑料封装外壳、内层的...
- 董景新李童杰刘云峰万蔡辛王嫘孙宵
- 文献传递
- 双端音叉式硅微谐振器的电修调被引量：1
- 2010年
- 双端音叉式硅微谐振器在制造过程中的误差会造成两根振梁谐振频率存在差异,这种差异严重降低了双端音叉式硅微谐振器的品质因数,进而造成传感器精度降低等问题。该文利用电容式传感器存在静电负刚度效应的原理,采用改变直流预载电压的电调整方法对振梁的刚度进行修调,从而精确地将两根振梁的谐振频率调整到一致。对这种方法进行了试验验证,试验结果验证了这种电修调的可行性。电修调可以有效提高双端音叉硅微谐振器的品质因数。
- 胡淏董景新万蔡辛曹宇
- 关键词：微机电系统谐振器谐振频率品质因数
- 大冲击后力反馈微加速度计吸合失效与防止被引量：7
- 2007年
- 冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使正常工作时敏感质量仅在平衡位置附近有微小位移的状况下成立的负反馈闭环系统模型不再适用,敏感质量的受控特性可能变为正反馈,从而使微加速度计失效。为提高微加速度计受外界大载荷冲击后的可靠性,分析了加速度计的敏感质量在不同限制的静电反馈力下的受控特性及对应的闭环系统特性,推导了在已知止挡机械参数下确定微加速度计相应电气参数从而避免此类失效的防吸合准则。多次的验证实验表明,按防吸合准则设计了系统参数的静电力反馈加速度计,在受到远超过其本身量程的载荷冲击后,可以100%地防止吸合现象的出现。
- 万蔡辛董景新刘云峰
- 关键词：微机电系统加速度计可靠性
- 硅微谐振式加速度计技术现状及展望被引量：3
- 2010年
- 硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广泛研究。本文对硅微谐振式微加速度计的发展现状进行了评述。根据国内外不同的技术实现,诸如工作原理、微加工工艺实现、应用范围等对其进行了分类阐述。最后,对硅微谐振式加速度计研究中一些关键技术进行了讨论,并提出了展望。
- 万蔡辛李丹东张承亮陈效真
- 关键词：微机械惯性传感器加速度计谐振
- 典型高性能MEMS陀螺的比较分析
- MEMS陀螺的精度与传统的机械式陀螺和光学陀螺相比仍比较低,但近年来屡有高性能MEMS陀螺的报道。本文从结构、工艺和封装、处理电路的角度对近年来报道的典型的高性能MEMS陀螺进行了仔细的综述,对几种典型的陀螺进行了对比并...
- 郑旭东冯舟梁新建万蔡辛李丹东
- 关键词：MEMS陀螺高性能微加工工艺接口电路
- 文献传递
- 一种三明治式平动式闭环硅微加速度计
- 一种三明治式平动式闭环硅微加速度计，包括上固定电极(6)、可动硅电极、下固定电极(7)。可动硅电极的可动部分包括：8个A杆(2)、8个B杆(4)、4个C梁(3)和敏感质量块(5)。2个A杆(2)、2个B杆(4)与1个C梁...
- 万蔡辛刘国文董景新杨立溪
- 文献传递
- 一种微机械有限元仿真的多重网格预处理方法
- 2011年
- 在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率。针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将二维多重网格方法融入条件共轭梯度法的预处理的方法。并以一种"三明治"式微加速度计的ANSYS模态分析为具体算例,提出了用多重网格思想对网点分布进行插值以求在不太提高条件数的情况下提高对这类低频非局部振型的模态分析问题的求解精度的二维预处理算法。所提出的多重网络的网络划分预处理算法将预处理前后的同精度分析计算时间由206 min减少到38 min,但相对精度从0.018%降低到了0.038%。这种算法可用于二维成形结构的静力分析和模态分析并提高设计效率。
- 万蔡辛李丹东梁新建
- 关键词：多重网格方法有限元微机械元件
- 一种“三明治”加速度传感器研究
- "三明治"式微加速度传感器作为一种中高精度惯性器件,将会在军民两用市场有广阔的应用前景,针对其工艺加工特殊、加工难度大的特点,本文提出了一整套专门工艺,包括Si的KOH腐蚀工艺,金属溅射掩膜与玻璃浅槽、玻璃通孔相结合工艺...
- 刘国文薛旭张承亮万蔡辛刘雪松李丹东
- 关键词：MEMS惯性器件微加速度计阳极键合
- 文献传递
