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闻荣伟
作品数:
26
被引量:7
H指数:2
供职机构:
哈尔滨工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
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机械工程
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合作作者
谭久彬
哈尔滨工业大学
王雷
哈尔滨工业大学
赵勃
哈尔滨工业大学
杨文国
哈尔滨工业大学
夏超
哈尔滨工业大学
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作者
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2008
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基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置
基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术,该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个线缆盒防转装置;在双工件台回转交换过程中,回转转接台抓卡住双工件台,绕基台中心回转,实现曝光工位和预处理工位...
谭久彬
闻荣伟
刘永猛
崔继文
基于球头连杆的气浮式正倒摆串联机构的空气弹簧隔振器
基于球头连杆的气浮式正倒摆串联机构的空气弹簧隔振器属于超精密测量及加工领域。所述隔振器在外筒内部配装内筒,空气弹簧气囊套装在内筒上端外部,支撑杆穿过环形盖板配置在内筒腔内,斜拉钢丝绳的上、下端分别与环形盖板和支撑杆下端固...
谭久彬
夏超
王雷
闻荣伟
杨文国
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基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台
基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备,该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载,采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测,并在隔振器与台体之...
谭久彬
闻荣伟
王雷
赵勃
文献传递
基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台
基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备,该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载,采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测,并在隔振器与台体之...
谭久彬
闻荣伟
王雷
赵勃
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基于活塞式液体粘滞阻尼作用的空气弹簧隔振器
基于活塞式液体粘滞阻尼作用的空气弹簧隔振器属于超精密测量及加工领域。所述隔振器的斜拉钢丝绳的上、下端分别与环形盖板和支撑杆下端固接,构成单摆机构,钢弹簧安装在内筒底部,活塞与钢弹簧接触配合,柔性铰链的上、下端分别配装在支...
谭久彬
夏超
王雷
闻荣伟
杨文国
基于弹簧零位基准和激光自准直测量的弹簧隔振平台
基于弹簧零位基准和激光自准直测量的弹簧隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备,该装置采用3个或3个以上静压弹簧结构的隔振器支撑弹簧隔振平台台体及其负载,采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测,并在隔振器与台体之...
谭久彬
闻荣伟
王雷
赵勃
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基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置
基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备,该装置包括隔离平台、中间套筒和基座;隔离平台支撑负载对象,中间套筒支撑隔离平台,基座支撑中间套筒,基座放置在固定基础上,各部分之间采用磁浮与静压气浮...
王雷
谭久彬
闻荣伟
赵勃
杨远源
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基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台
基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备,该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载,采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测,并在隔振器与台体之...
谭久彬
闻荣伟
王雷
赵勃
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基于气浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台
基于气浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备,该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载,采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测,并在隔振器与台体之...
谭久彬
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基于弹簧零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台
基于弹簧零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备,该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载,采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测,并在隔振器与台体之...
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