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邵雷

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：北京理工大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
发文基金：国家部委预研基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子器件
  • 1篇真空微电子
  • 1篇真空微电子器...
  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇微电子器件
  • 1篇硅尖
  • 1篇场致发射

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇李文雄
  • 1篇邵雷
  • 1篇吴海霞
  • 1篇仲顺安
  • 1篇鲁雪峰

传媒

  • 1篇北京理工大学...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
场致发射硅尖阵列的研制被引量：6
2003年
研究真空微电子器件场致发射硅尖阵列的制作工艺.利用HNA湿法腐蚀工艺制作场致发射硅尖阵列,比较带胶腐蚀与不带胶腐蚀的不同.采用氧化削尖技术对硅尖进行锐化处理.制作了50×60硅尖阵列,同时给出了硅尖阵列的I-V特性.利用HNA湿法腐蚀制备的硅尖结构与理论分析一致,锐化处理改善了硅尖阴极阵列的场致发射特性.
吴海霞仲顺安李文雄邵雷鲁雪峰
关键词：真空微电子器件湿法腐蚀硅尖
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