邓晓
- 作品数：46 被引量：24H指数：4
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术理学更多>>
- 一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪
- 本发明公开了一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，属于检测仪表领域，包括MEMS谐振子、自溯源光栅干涉仪和数据处理模块，所述MEMS谐振子包括折叠梁、固定框架和质量块，所述折叠梁两端与所述固定框架内侧壁连接，所...
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- 一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法
- 本发明涉及一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法，该方法具体为：掩膜版基板的设计和加工，掩膜版基板上开有四个窗口(3)，四个相同大小的窗口(3)在掩膜版基板中间区域呈十字形对称分布；掩膜版的制造，采用激光汇聚原...
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- 一种平板位移式计量型原子力显微镜及其使用方法
- 本发明涉及一种平板位移式计量型原子力显微镜及其使用方法，包括自溯源光栅干涉仪(1)、XY纳米位移台(2)、XY粗调台(3)、原子力测头(4)和基座(5)，基座(5)上设有XY粗调台(3)和龙门架(6)，XY纳米位移台(2...
- 邓晓
- 一种用于加速度振动传感器的校准方法
- 本发明涉及一种用于加速度振动传感器的校准方法，方法采用一种用于加速度振动传感器的校准装置，方法包括以下步骤：S1、将待校准振动传感器以待校准轴与激振方向平行的姿态固定于水平滑台上；S2、采用信号采集与传输设备，对自溯源光...
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- 一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统
- 本发明涉及一种自溯源型光栅干涉精密位移测量系统，包括相干光源、光电探测模块、自溯源光栅和信号处理模块，所述自溯源光栅设置于待测的位移运动平台上，所述相干光源、光电探测模块和信号处理模块依次连接，所述相干光源产生的激光经光...
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- 文献传递
- 一种基于拼接原子光刻技术的大面积自溯源光栅制备方法
- 本发明涉及一种基于拼接原子光刻技术的大面积自溯源光栅制备方法，包括以下步骤：基于原子光刻技术在基板上进行一次原子光刻，获得原子光刻光栅样板；至少循环执行一次以下操作：利用光阑的限位作用，保持会聚光指向不变，将主透镜及当前...
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- 一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法
- 本发明涉及一种具备自溯源角度的二维光栅标准物质及其制备方法，该方法具体为：掩膜版基板的设计和加工，掩膜版基板上开有四个窗口(3)，四个相同大小的窗口(3)在掩膜版基板中间区域呈十字形对称分布；掩膜版的制造，采用激光汇聚原...
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- 基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法
- 本发明涉及一种基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法，所述的装置包括：激光光源，用于发出单纵模的激光；光学元件，用于调节发出激光的会聚程度；光衰减器，用于对激光进行光强的衰减；自溯源光栅，根据衰减后的激光产生一级...
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- 原子纳米光刻中双层光学掩膜的实现方法研究被引量：2
- 2014年
- 利用原子光刻的方法制备纳米结构的光栅已经成为了一种较为成熟的工艺。通过原子与激光驻波场的相互作用,利用原子自生在势能场中的偶极力对原子的密度进行调制,从而得到所需要的光栅结构。利用此种工艺所制备的光栅相对于传统工艺来说具有精度高,光栅常数直接溯源于原子能级。希望能够通过对激光的改良来提升原子沉积结果。通过双层驻波场来提高原子沉积质量已经被多次提到。实验中利用几何光学的方法实现了所需要的新型激光驻波场。并对其汇聚,相干等特性进行了研究,取得了较为满意的结果。为利用双层驻波场来沉积原子打下了基础。
- 陈晟马艳张萍萍王建波邓晓肖盛炜马蕊李同保
- 关键词：原子光刻几何光学
- 需求牵引计量助力高端产业破题
- 2024年
- 测试是以集成电路为代表的高端纳米制造产业的“尺子”,计量则是测试的“准绳”。纳米计量体系贯穿先进纳米制造全过程,是纳米制造产业可持续发展的质量基础。美国国家标准与技术研究(NIST)曾指出,计量在高达50%以上的纳米制造领域通过微纳检测设备发挥关键作用,对先进纳米制造技术研发与确保微纳器件质量发挥着决定性作用。产业发展需要“测得出,测得准”“测得出,才能造得出;测得准,才能造得精。”20世纪末,美国半导体行业协会发布的“国际半导体技术路线图”(ITRS)就将计量列为以集成电路为代表的纳米制造产业六大关键技术支撑之一。
- 邓晓程鑫彬李同保
- 关键词：技术路线图美国国家标准高端产业集成电路
