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赵晨
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
浙江万里学院计算机与信息学院
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发文基金:
福建省重点科技计划项目
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相关领域:
化学工程
一般工业技术
电子电信
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合作作者
于映
福州大学电子科学与应用物理系
罗仲梓
福州大学电子科学与应用物理系
翁心桥
福州大学电子科学与应用物理系
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作者
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赵晨
3篇
于映
2篇
罗仲梓
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翁心桥
传媒
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真空科学与技...
1篇
中国真空学会...
年份
2篇
2005
1篇
2004
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Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究
本文采用氯苯浸泡法对(0.2~2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥...
于映
赵晨
罗仲梓
翁心桥
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Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究
被引量:1
2005年
本文采用氯苯浸泡法对(0.2~2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥离出8.0 μm的缝隙.
于映
赵晨
罗仲梓
翁心桥
Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究
本文采用氯苯浸泡法对(0.2~2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥...
于映
赵晨
罗仲梓
翁心桥
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