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赵晨

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：浙江万里学院计算机与信息学院更多>>
发文基金：福建省重点科技计划项目更多>>
相关领域：化学工程一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇AL
  • 3篇AU

机构

  • 3篇福州大学
  • 2篇浙江万里学院
  • 2篇厦门大学

作者

  • 3篇赵晨
  • 3篇于映
  • 2篇罗仲梓
  • 1篇翁心桥

传媒

  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 2篇2005
  • 1篇2004
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究
本文采用氯苯浸泡法对(0.2～2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥...
于映赵晨罗仲梓翁心桥
文献传递
Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究被引量：1
2005年
本文采用氯苯浸泡法对(0.2～2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥离出8.0 μm的缝隙.
于映赵晨罗仲梓翁心桥
Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究
本文采用氯苯浸泡法对(0．2～2．0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2．0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥...
于映赵晨罗仲梓翁心桥
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