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赵冬燕
作品数:
5
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
黄如
北京大学信息科学技术学院微电子...
张国艳
北京大学信息科学技术学院微电子...
张兴
北京大学
王阳元
北京大学
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北京大学
作者
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赵冬燕
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黄如
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王阳元
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第十三届全国...
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2篇
2004
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基于SOI衬底的平面集成电感的特性与分析
本文利用CMOS双层金属布线工艺制作基于SOI衬底的平面集成电感.实验结果表明基于集成电感性能明显优于体硅集成电感,其品质因数值和自谐振频率都远远高于体硅电感.实验结果同时表明,基于SOI衬底的圆形电感较矩形电感提高了电...
赵冬燕
张国艳
黄如
关键词:
SOI衬底
CMOS
电路设计
文献传递
用于射频通信的SOI电感设计及优化
由于集成电路具有体积小、功耗低、成本低的特点,无线通信技术的蓬勃发展促成了射频集成电路(RFIC)的迅速发展.当前,射频集成电路已经成为集成电路最热的研究领域之一.而如何利用现有的工艺水平实现高性能的集成电感成为当前RF...
赵冬燕
关键词:
射频
集成电感
品质因数
SOI衬底
立体集成电感及其制造方法
本发明提出了一种立体集成电感,包括衬底层、底层平行金属线、二氧化硅介质层和顶层平行金属线;所述的底层平行金属线设置在衬底与二氧化硅介质层之间,顶层平行金属线设置在二氧化硅隔离层上,通过穿过二氧化硅介质层内表面溅射有金属接...
赵冬燕
张国艳
黄如
文献传递
基于SOI衬底的射频电感优化设计
被引量:2
2004年
比较了SOIRF电感与体硅电感的性能 ,并根据模拟结果分析了电感中空面积 ,电感形状结构 ,金属宽度、间距对SOI电感品质因数Q、自谐振频率、电感量L的影响 ,最后提出了一种基于SOI衬底RF电感的优化设计原则 .以往射频集成电感性能的比较并不固定电感值 。
赵冬燕
张国艳
黄如
关键词:
SOI衬底
电感量
品质因数
一种集成电感及其制造方法
本发明公开了一种集成电感及其制造方法,制造方法包括:清洗原始Si衬底并通过ICP工艺,在原始Si衬底上刻蚀深槽或深孔;所述深槽的宽度或深孔的直径一般为1μm-6μm;间距为1μm-3μm;然后,氧化一层隔离作用的SiO<...
张国艳
赵冬燕
黄如
张兴
王阳元
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