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缪琦

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇扫描电镜
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇线宽
  • 1篇线宽测量
  • 1篇芯片
  • 1篇激光
  • 1篇激光干涉
  • 1篇计量学
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体芯片
  • 1篇FPGA

机构

  • 2篇合肥工业大学
  • 1篇中国计量科学...

作者

  • 2篇缪琦
  • 1篇卢荣胜
  • 1篇高思田
  • 1篇黄晓清

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
计量型扫描电镜的溯源与应用研究
在新世纪，半导体产业得到了迅猛发展，芯片等元器件也逐步由之前的微米向纳米阶段进化。这就给计量科学提出了新的要求，纳米计量将在工业发展中起到积极的推动作用。在微纳几何结构的计量检测中，由于有物理衍射极限的存在，使得传统的光...
缪琦
关键词：半导体芯片线宽测量
文献传递
基于 FPGA 的逐次逼近算法实现激光干涉信号细分
2014年
为了实现激光干涉测量中信号的高速度、高精度细分，对正切细分算法中的除法运算进行了改进，采用逐次逼近算法替代使用较多的移位相减算法。实验证明逐次逼近算法比移位相减算法运算速度更快、资源占用较少。更适合 FPGA 信号细分高速度、高精度要求。
黄晓清高思田缪琦卢荣胜
关键词：计量学激光干涉FPGA
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共1页<1>
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