2024年7月17日
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熊志刚
作品数:
3
被引量:14
H指数:2
供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
陈弘达
中国科学院半导体研究所
张道中
中国科学院物理研究所
金爱子
中国科学院物理研究所
许兴胜
中国科学院半导体研究所
孙增辉
中国科学院半导体研究所
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作者
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熊志刚
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许兴胜
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金爱子
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张道中
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陈弘达
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2008
1篇
2007
1篇
2006
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聚焦离子束研制半导体材料光子晶体
被引量:10
2007年
介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果,发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合;测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱.实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件.
许兴胜
熊志刚
金爱子
陈弘达
张道中
关键词:
聚焦离子束
半导体材料
光子晶体
时域有限差分方法及其在光子晶体中应用
光子晶体是周期性结构的介电体,即其折射率在空间做周期性的变化。类比于传统晶体中周期性的品格势场对电子的调制,在光子晶体中,周期性的介电体对光子的调制可产生光子带隙,即在一定的频率范围内,光子的态密度为零,光不能在晶体中传...
熊志刚
关键词:
光子晶体
时域有限差分方法
半导体量子阱材料微加工光子晶体的光学特性
被引量:4
2006年
利用聚焦离子束刻蚀方法和电子束制版结合干法刻蚀方法制备了二维近红外波段光子晶体,发现两种方法都可以制备出均匀的二维光子晶体,聚焦离子束方法操作简单,电子束制版结合干法刻蚀方法操作步骤复杂.光谱测试表明,利用聚焦离子束方法在有源材料上刻蚀的光子晶体不发光,而电子束制版结合干法刻蚀方法制备的小晶格常数光子晶体即使有些无序,其出光效率也提高到没有光子晶体时的两倍.对两种方法所加工的光子晶体不发光和提高出光效率的机理进行了分析.
许兴胜
熊志刚
孙增辉
杜伟
鲁琳
陈弘达
金爱子
张道中
关键词:
聚焦离子束
光子晶体
出光效率
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