杨道奇
- 作品数：5 被引量：47H指数：4
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：广东省教育部产学研结合项目国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 空间光通信系统三波段滤光膜的研究被引量：6
- 2012年
- 空间激光通信常采用干涉截止滤光膜对不同波段的光谱进行分光。着重介绍了近红外三波段光学滤光片的研究与制备。根据膜系设计理论,分别选择TiO2和SiO2作为高、低折射率材料,借助膜系设计软件设计优化了合理的膜系,实现了770～860nm及1530～1575nm光谱范围双波段的高透过和1615～1700nm波段的高反射。采用电子枪离子辅助沉积系统进行制备。优化工艺参数,通过调整补偿挡板使膜厚均匀性控制在3%以内。虽然制备膜层较厚,但经检测其光学性能、机械性能及耐环境能力均满足使用要求。用轮廓仪检测所制备膜层的面形,其峰谷值变化达到预期要求。
- 潘永刚刘冬梅张静付秀华杨道奇
- 关键词：离子辅助沉积
- 采用新型混合材料的多波长激光减反射膜的研制被引量：15
- 2011年
- 针对激光致盲武器的特殊要求,借助Macleod和TFCalc软件,选择H4和YbF3作为高低折射率材料进行膜系优化设计,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积技术,通过正交矩阵实验对材料的工艺参数进行调整和优化,在蓝宝石基底上,制备了符合要求的宽带增透膜。镀膜后的蓝宝石基片在532、808、905、980和1064 nm波长处的透射率大于97%,中红外波段3~5μm的平均透射率大于92%。通过内保护层技术的引入,进一步提高了膜层的激光损伤阈值。该薄膜可以同时满足多个激光波长的使用要求,拓宽了其应用范围,降低了使用成本。
- 杨永亮付秀华刘国军李美萱杨道奇
- 关键词：减反射膜激光损伤阈值离子辅助沉积
- ZNS基底红外多波段滤光膜的研究与制备
- 根据红外军用探测仪窗口的特殊使用要求，本文选择了CVDZnS作为基底镀制多波段滤光膜，用以满足在1064±15nm处透过率为65％，3～5μm波段范围内的平均透过率高于90％，380nm～980nm波段平均透过率小于5％...
- 杨道奇
- 关键词：光学薄膜优化设计离子辅助沉积
- 红外双波段激光滤光膜的研制被引量：11
- 2011年
- 为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064 nm高反、3～5μm高透的红外双波段滤光膜。利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa。另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值。结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。
- 宫大为付秀华耿似玉杨道奇
- 关键词：光学薄膜离子轰击真空退火
- 0.6～1.55μm可见/近红外超宽带增透膜的研制被引量：18
- 2012年
- 针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、制备重复性好、牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜。该增透膜在(650±10)nm、900～1 100 nm和(1470±10)nm三波段内平均透过率≥99%,在620～1 550 nm宽波段内整体平均透射率≥97%,满足了光谱仪探测器窗口的实际使用要求。
- 杨道奇付秀华耿似玉杨永亮潘永刚
- 关键词：光学薄膜电子束蒸发离子束辅助沉积
