李蕾
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
- 供职机构：黑龙江大学电子工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：文化科学一般工业技术更多>>
- 基于SOI材料α-Si:H TFTs的制作和特性研究(英文)被引量：2
- 2015年
- 采用RF-PECVD系统在SOI材料上制作α-Si:H TFT,纳米非晶硅薄膜厚度为98nm,沟道长宽比为10μm/40μm。用扫描电子显微镜、X射线衍射和拉曼光谱等检测方法对不同退火温度下的氢化非晶硅薄膜形貌进行了表征。采用CMOS工艺、各向异性腐蚀溶液EPW、射频溅射技术和等离子体刻蚀等工艺实现α-Si:H TFT的制作。在给出一般α-Si:H TFT特性分析和实验结果的基础上,又采用建模方式对α-Si:H TFT出现的负阻特性进行研究。提取纳米氢化非晶硅薄膜与栅氧化层界面处能带图的结果表明,在靠近漏端0.5μm范围内,漏压由6V增加到30V时,随漏压的增加,价带能量逐渐下降。研究结果表明,距离漏端0.5μm范围内的压降导致负阻特性产生。
- 李蕾温殿忠李刚赵晓锋
- 关键词：TFTSOI材料负阻特性
- 基于工程教育认证的“半导体集成电路”教学模式改革研究被引量：1
- 2021年
- 文章主要说明在工程教育认证背景下“半导体集成电路”课程在教学内容和教学方法上存在的问题,针对性地提出相应的改革方案。对现有教学内容进行丰富和优化,通过对不同内容采取不同的教学方法来提高学生学习的积极性和主动性;通过“线上+线下”、实践教学等教学模式,改变教学理念,达到提升教学效果的目的,从而满足集成电路产业快速发展对人才的需求。
- 李蕾
- 关键词：工程教育认证教学模式
- 电子科学与技术研究生专业英语课程教学改革研究被引量：2
- 2022年
- 文章充分阐述了高等院校研究生专业英语教学中存在的主要问题,分析了目前电子科学与技术研究生专业英语的特点,阐述了“互联网+”背景下的智慧教学在研究生专业英语信息化教学方面的优势和实践。高校教师通过课程改革和探索专业英语教学过程中的课程目标、教学形式、教学内容、考核方式等,培养研究生科技论文阅读、写作和学术交流等能力,使研究生明确学习目标,提高其教学参与度和积极性,从而提升教学质量。
- 李蕾
- 关键词：电子科学与技术专业英语教学改革
