李红霞
- 作品数：21 被引量：45H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市科学技术发展基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 激光脉宽控制装置
- 一种激光脉宽控制装置，包括固体倍频激光器，其特征在于沿所述的固体倍频激光器输出光束的前进方向45°地设置一分光片，在该分光片透射的泵浦激光方向有一光路延迟器和第五反射镜，在该第五反射镜的反射光方向是第一透镜，一铜靶置于第...
- 楼祺洪董景星李红霞魏运荣周军
- 文献传递
- 简化蝇眼式光束均匀器
- 2004年
- 叶震寰楼祺洪董景星魏运荣李红霞
- 关键词：准分子激光透镜阵列
- 改善激光光束均匀性的装置
- 一种改善激光光束均匀性的装置，其特征是在激光器的输出光路上依次设置聚焦透镜、具有一定缠绕半径的梯度折射率分布的传能光纤和准直透镜，所述的传能光纤的输入端位于聚焦透镜的焦点，而输出端位于准直透镜的前焦点。本发明装置的结构简...
- 李红霞楼祺洪董景星周军魏运荣
- 文献传递
- 准分子激光应用若干关键技术研究
- 本论文主要是准分子激光应用中的若干关键技术研究，具体内容包括准分子激光的光束均匀性改善研究和激光脉冲宽度控制研究。准分子激光具有波长短、脉冲功率密度高、光束能量分布均匀及弱相干性等优点，在半导体工艺、微电子微光学工业领域...
- 李红霞
- 关键词：准分子激光器光束均匀性
- 准分子激光线宽压缩方法的研究被引量：6
- 2004年
- 介绍了准分子激光线宽压缩的各种方法及其各自特点,并用单个标准具对308nmXeCl准分子激光进行了线宽压缩实验。
- 李红霞楼祺洪董景星叶震寰魏运荣
- 关键词：准分子激光标准具光栅色散
- 改善激光光束均匀性的装置
- 一种改善激光光束均匀性的装置，其特征是在激光器的输出光路上依次设置聚焦透镜、具有一定缠绕半径的梯度折射率分布的传能光纤和准直透镜，所述的传能光纤的输入端位于聚焦透镜的焦点，而输出端位于准直透镜的前焦点。本实用新型装置的结...
- 李红霞楼祺洪董景星周军魏运荣
- 文献传递
- 简化蝇眼式光束均匀器
- 一种用于准分子激光的简化蝇眼式光束均匀器，是由两组母线互相垂直的石英柱面镜叠加组合成类似3*3的蝇眼透镜阵列。中心部分为正方形或矩形镂空，柱面镜的受光宽度与中心镂空的宽度组成三等分。当矩形(或经整形为正方形)光斑的准分子...
- 叶震寰楼祺洪董景星魏运荣李红霞
- 文献传递
- 激光脉宽控制装置
- 一种激光脉宽控制方法和装置，该方法是利用固体倍频激光器倍频激光同时输出的泵浦激光，聚焦后在空气和铜靶上产生等离子体，控制倍频激光的脉宽。整个装置由固体倍频激光器、分光滤光片、光路延迟器、第一透镜、放置在空气中的铜靶、第二...
- 楼祺洪董景星李红霞魏运荣周军
- 文献传递
- 准分子激光的光束波面测量技术被引量：5
- 2004年
- 准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用,要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性。介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术。用波面分析仪对XeCl和ArF激光特性进行全面的测量和评估,给出了主要参数的测量结果,重点分析了光束均匀性。
- 叶震寰董景星魏运荣李红霞楼祺洪
- 关键词：准分子激光
- 一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器被引量：11
- 2004年
- 准分子激光作为当前光刻装置的主要光源 ,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性 ,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求 ,计算了最佳均匀截面位置 ,并与普通棱镜均匀器进行了比较。实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理 ,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用 ;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况 ,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合。利用其改善准分子激光器输出光束强度的分布 ,起伏优于 4 % ,其均匀效果优于普通棱镜均匀器。
- 李红霞楼祺洪董景星叶震寰魏运荣凌磊
- 关键词：激光技术准分子激光
