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李卫

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：北京理工大学更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电池
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学电池
  • 1篇电解
  • 1篇电解水
  • 1篇电解水制氢
  • 1篇制氢
  • 1篇制氢技术
  • 1篇化学电池
  • 1篇光电
  • 1篇光电池
  • 1篇光电化学
  • 1篇光电化学电池
  • 1篇光刻
  • 1篇分解水
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件
  • 1篇PEC

机构

  • 2篇北京理工大学
  • 1篇清华大学

作者

  • 2篇李卫
  • 2篇谢会开
  • 1篇许德华

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇能源研究与利...

年份

  • 1篇1993
  • 1篇1992
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
双面光刻简易技术被引量：1
1992年
本文介绍用于半导体器件制造的两种简易双面光刻技术:一种是单版式对准,另一种是双版式对准。文中还详述了双版式双面光刻的全套工艺。实验表明,这两种双面对准方法经济实用,单版式双面对准误差<15μ,双版式双面对准误差<3μ,其光刻图形符合工艺要求。
谢会开李卫许德华
关键词：半导体器件光刻
光电化学电池(PEC)分解水制氢技术被引量：1
1993年
本文较全面地阐述了光电化学电池分解水制氢的各种结构及其工作原理,对各种结构的优势、存在的问题以及能量转换效率等进行了较详细的分析,并介绍了目前的最新成果和研究动向。
谢会开李卫
关键词：光电池电解水制氢
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共1页<1>
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