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李兴凯

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西北大学物理学系更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇离子轰击
  • 1篇金属
  • 1篇过渡金属
  • 1篇轰击
  • 1篇N^+
  • 1篇SI
  • 1篇TI
  • 1篇MO

机构

  • 1篇西北大学

作者

  • 1篇李兴凯
  • 1篇王永瑜

传媒

  • 1篇西北大学学报...

年份

  • 1篇1989
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
N^+离子轰击对过渡金属Nb,Mo,Ti与Si接触界面的影响
1989年
为了适应超大规模集成电路Si太阳电池和超导的需要,作者用■ES和I-V特性研究了N^+离子轰击对Si衬底上Nb,M0或Ti溥膜的深度分布和电学性质的影响。
王永瑜李兴凯薛兵李保春蒲鸿斌
关键词：过渡金属离子轰击
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共1页<1>
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