张若昕
- 作品数：11 被引量：12H指数：3
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 神经微电极阵列及MEMS工艺研究
- 人类对于神经系统的研究和神经修复术的发展都对脑-机接口(Brain-MachineInterface，BCI)器件提出了越来越高的要求，而微机械加工技术的发展正为神经记录和激励工具提供了有力的支持。使用基于MEMS(Mi...
- 张若昕
- 硅V形槽板及利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法
- 一种硅V形槽板，其特征在于，包括：一硅底板，该硅底板为长方体，在其上面的一侧开有一端部贯通的凹槽；在凹槽的另一侧纵向开有多个V形槽。该硅V形槽板便于获得方便可控的电极排布及定位，所制作的电极阵列用于大脑皮层植入提取神经电...
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- 文献传递
- 神经记录用硅基多通道微电极探针的设计与制造被引量：6
- 2006年
- 为了从中枢神经系统记录电信号,半导体加工技术已经被用于微电极探针的制造.介绍了一种硅基探针的设计和制造工艺流程.我们已经制造出15μm厚,3mm长,100μm宽的记录用探针,每根探针含有7个记录点,间隔120μm.在制造过程中使用微机械系统(MEMS)工艺中常用的硅表面微加工工艺:等离子增强化学气相淀积(PECVD),感应耦合等离子刻蚀(ICP)以及硅的各向异性刻蚀等.测试结果给出了探针的强度和阻抗特性.
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- 用于神经电信号记录的多通道微探针被引量：3
- 2006年
- 以体硅为衬底,采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针,用于记录神经电信号.从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑,制作了以二氧化硅/硅(SiO2/Si)为主体的微探针,并详述了其具体制作工艺流程.扫描电镜(SEM)照片显示微探针针长3mm、针宽100μm、针厚约为20μm,各个记录点直径10μm、间距120μm,实现了各通道之间良好的信号隔离.微探针距离针尖1mm范围内的针宽以一定弧度由100μm逐渐变窄,同时针尖锥角为6°,此种结构有利于减小植入时对脑组织的损伤.通过体外测试得到,当频率由10kHz增加到10MHz时,微电极各个通道阻抗由150.5kΩ降低到6.0kΩ.
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- 关键词：MEMS
- 用于无线神经记录微系统的专用数模转换器设计
- 该无线微系统用于从生物神经系统提取信号并传输到外部系统，其中需要将模拟信号转换为数字信号进行传输。本文详细分析了流水线模数转换技术原理，选择采用九级结构实现具有10比特分辨率、30KHz采样频率的模数转换器电路。模数转换...
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- 关键词：数模转换器电路设计CMOS工艺
- 文献传递
- 一种制作皮肤干电极的方法
- 本发明涉及用于生理信号检测的电极传感器加工技术领域，公开了一种制作皮肤干电极的方法，该方法包括：A.选择一定厚度的金属板材，将选择的金属板材切割成块，然后对金属板材块的表面进行抛光；B.加工抛光后的金属板材块，在金属板材...
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- 文献传递
- 提取神经电信号的CMOS前置放大器
- 本文研究了一种用于提取神经电信号的前置放大器。采用电容耦合的输入结构消除了存在于电极-电解液界面处的直流半电池电压的不良影响。工作于截止区的MOS二极管作为大电阻，并将其接在直流偏置电路的输出与前置放大器的输入之间，以提...
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- 关键词：前置放大器电容耦合
- 文献传递
- 用于神经电信号记录的多通道微探针
- 本文以体硅为衬底,采用微机械加工技术(MEMS)制作了七通道的可植入到脑皮层的微探针,用于记录神经电信号.从生物相容性、减小植入损伤、工艺制作难度等方面考虑,制作了以二氧化硅/硅(SiO2/Si)为主体的微探针,并详述了...
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- 关键词：MEMS电信号
- 文献传递
- 一种制作皮肤干电极的方法
- 本发明涉及用于生理信号检测的电极传感器加工技术领域，公开了一种制作皮肤干电极的方法，该方法包括：A.选择一定厚度的金属板材，将选择的金属板材切割成块，然后对金属板材块的表面进行抛光；B.加工抛光后的金属板材块，在金属板材...
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- 文献传递
- 适用于神经接口的硅基微电极制作(英文)被引量：5
- 2006年
- 采用表面MEMS工艺制作了二维多通道的硅基微电极阵列,用于提取脑神经电信号.在整个工艺制作过程中需要三步光刻,制作的硅针长1·2 mm,宽100μm,厚30μm,同时各个记录点的间距为200μm,可以形成良好的信号隔离.对微电极的阻抗特性进行了体外测试,结果表明,随着频率由0变为10MHz ,单个记录点阻抗由14MΩ下降到1·9kΩ.将微电极黏附到印刷线路板,通过金丝压焊提取各个通道信号,大大提高了植入的可操作性以及信号提取的可靠性.
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- 关键词：微电极阵列MEMS工艺
