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张寿柏
作品数:
16
被引量:43
H指数:4
供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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合作作者
赵小林
上海交通大学材料科学与工程学院
丁桂甫
上海交通大学微纳米科学技术研究...
杨春生
上海交通大学微纳米科学技术研究...
蔡炳初
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张琛
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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1篇
1999
5篇
1998
2篇
1997
6篇
1996
1篇
1992
共
16
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离子束溅射Ti和Ni薄膜的初生过程
1996年
用AES方法原位研究了离子束溅射Ti和Ni元素成膜的初生模式,它们在单晶Si上以层状FM模式生长,其成膜速率与其溅射产额有关。
杨春生
周狄
威震中
张寿柏
蔡丙初
关键词:
离子束溅射
钛
镍
毫米级电磁微电机
本发明公开了一种毫米级的电磁型微电机,它由平面微型绕组线圈(定子)、磁阻传感器、磁性转子及控制电路等组成。其磁性转子(1)由稀土永磁和镍铁软磁材料复合薄膜制成,位于平面绕组线圈(5)上方,其直径与平面绕组线圈(5)的直径...
张寿柏
张琛
赵小林
蔡炳初
宋柏泉
文献传递
非晶多晶薄膜结构快速能量过滤径向分布函数分析(英文)
1998年
介绍研究薄膜结构的新方法—能量过滤电子衍射法。该方法借助透射电镜样品后扫描,使薄膜的选区电子衍射花样顺序地扫过电子能量损失谱仪入口光阑,检测弹性散射电子强度与散射矢量关系,然后由径向分布函数理论,导出薄膜材料的最近邻原子间距和配位数等与结构有关的信息。通过多晶金薄膜和非晶钛铝薄膜的测试,获得满意结果。
王永瑞
刘震云
戎咏华
赵小林
张寿柏
微型直流无刷电动机及其控制电路的研制
被引量:4
1996年
本文介绍了直径为2mm速度可调的微型直流无刷电动机。其主要特点为:1)采用层平面型三相绕组线圈;2)具有多极薄膜磁性转子;3)转速从50转/分到1000转/分连续可调;4)可识别磁极位置的微型薄膜变磁阻传感器。
张琛
赵小林
张寿柏
蔡炳初
关键词:
微型直流无刷电动机
控制电路
微型电动机
定子绕组
位置传感器
磁阻传感器
硅衬底的多层金属化
杨春生
张寿柏
孙德华
关键词:
金属薄膜
衬底
硅
功率管
CoAg颗粒膜巨磁阻效应的TEM研究
1998年
由于巨磁阻材料具有极高的磁阻变化率和许多其他的优良物理性能,其在磁传感器及磁阻式薄膜磁头方面具有潜在的应用价值。颗粒膜不仅具有优良的磁性能,且发现其具有各向同性巨磁阻效应,因此,巨磁阻颗粒膜材料成为近来研究的热点[1,2]。实验方法本文采用SPF-3...
王纪文
王永瑞
张寿柏
赵小林
常建龙
关键词:
巨磁阻效应
TEM
镍钛合金形状记忆薄膜的化学刻蚀
被引量:1
1999年
镍钛合金形状记忆薄膜的图形化技术曾是其实用化的主要障碍之一,现在,一种工作性能优越的化学刻蚀液可以实现薄膜的高精度图形化,该刻蚀液常温工作,性能稳定,刻蚀速率在1~5 微米/分之间均可得到满意的刻蚀线条。常规制作的光刻胶掩模在该刻蚀液中非常稳定。该刻蚀液用于溅射态的形状记忆合金薄膜可得到与掩模图形完全一致的刻蚀结果,刻蚀线条光滑平直,刻蚀系数大于 15。当用于热处理以后的薄膜时,刻蚀面有一定程度的粗糙化,只能用于刻蚀相对较粗的线条,这是热处理后薄膜中晶粒与晶界刻蚀速率不同所致。用该刻蚀液图形化的形状记忆合金薄膜驱动机构已成功用于微泵制造,所制作的微泵流量达到 200 微升/分钟以上。
丁桂甫
徐东
赵小林
张寿柏
蔡炳初
沈天慧
关键词:
形状记忆合金
微泵
用金刚石薄膜制造X射线掩模版
被引量:3
1998年
用金刚石薄膜作为支撑层,金作为吸收体;同时,采用Ni合金过渡层来解决金刚石与金之间结合力小,热匹配性能差等问题。制作的掩模版具有较好的反差效果。同时,还具有工艺简单,成品率高等特点。
张文华
丁桂甫
王谦
许俊涛
张寿柏
关键词:
LIGA
金刚石薄膜
掩模
直径为2mm电磁型微电动机的研究
被引量:9
1996年
运用微细加工方法研制新颖直径为2mm,速度可调的电磁型微电动机,并讨论了电磁型微电动机的驱动原理和制备方法。
张寿柏
张琛
关键词:
电磁型
微电动机
微细加工
微机械
机器人
Nd-Fe-B永磁体化学镀镍抗腐蚀性能的研究
被引量:11
1997年
利用化学镀镍方法成功地实现了对稀土永磁体Nd-Fe-B的抗腐蚀性保护。选择适当的预处理工艺与专用化学镀镍槽液相结合,可获得抗腐蚀性能良好的镍保护层,化学镀双层镍的抗腐蚀性能尤其突出。
丁桂甫
姚锦元
杨春生
张寿柏
沈天慧
关键词:
镀镍
耐腐蚀性
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