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张健

作品数：6 被引量：9H指数：2
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电气工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇定子
  • 3篇压电
  • 3篇特性分析
  • 2篇电机
  • 2篇压电超声马达
  • 2篇微电机
  • 2篇混合结构
  • 2篇固有频率
  • 2篇薄型
  • 2篇超声马达
  • 1篇弹性体
  • 1篇多层膜
  • 1篇行波
  • 1篇压电马达
  • 1篇压电效应
  • 1篇转子
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械加工
  • 1篇简并
  • 1篇半导体

机构

  • 4篇中国科学院上...
  • 2篇中国科学院

作者

  • 6篇张健
  • 6篇沈德新
  • 6篇王渭源
  • 2篇杨根庆

传媒

  • 3篇功能材料与器...
  • 2篇压电与声光
  • 1篇Journa...

年份

  • 2篇1998
  • 3篇1997
  • 1篇1996
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析被引量：1
1997年
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件，定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了ＲａｙｌｅｉｇｈＲｉｔｚ方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。
张健沈德新王渭源
关键词：固有频率微电机多层膜
采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析被引量：2
1997年
本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响．
张健沈德新王渭源
关键词：半导体固有频率
一种新结构薄型压电行波小马达被引量：2
1996年
本文设计和研制了一种新结构薄型压电行波小马达。小马达由圆形压电薄片或圆环形压电薄片和兼作公共电极的金属弹性体联成一体作马达的定子，薄型转子坐落在公共电极金属弹性体上，从而使压电马达的构造简单，也简化了制作工艺。研制成的薄型压电行波小马达直径φ８ｍｍ，定子总厚度≤３５０μｍ，在１０－１２伏交变电讯号激励下，转子转速≥１００ｒｐｍ。
沈德新张健张保安卢建国杨根庆王渭源
关键词：压电马达行波薄型弹性体微电机
薄型压电超声马达定子中旋转波形成机理初探被引量：2
1997年
详细分析了马达定子中旋转波(行波)的形成机理及其主要特征(包括动能、势能和角动量等),论述了定子-转子交界面粒子椭圆振动的形成,表明压电马达定子中的波不同于传统的驻波和行波,而是被人称之为第三种波——旋转波。同时,也预示了压电定子中旋转波产生同电极设置和外界激励方式的关系。讨论了定子的固定方式。根据这一理论,研制出了由位相差为90°的双功率源驱动的压电旋转波马达,外加电压10 V时,马达的最高转速可达100 r/min。
张健沈德新王渭源
关键词：压电效应压电超声马达
微型压电超声马达定子表面振动特性分析被引量：2
1998年
微型压电超声马达定子表面的振动幅度是难以检测的动态微小量。定子振动状态将直接关系到压电马达的实现与否。首次分析了采用均分电极结构的微型压电超声行波马达的定子表面的振动振幅。通过对影响定子振幅相关因素的分析，表明要获得最佳的表面振动效果，压电薄膜与弹性体的厚度必须相匹配。
张健沈德新卢建国王渭源
关键词：压电超声马达定子
微机械加工的微型压电行波马达被引量：3
1998年
在分析压电行波马达工作原理的基础上，采用微机械加工工艺分别研制成定子和转子，并通过微组装得到了完整的微机械压电马达。马达定子、转子的尺寸均为２ｍｍ。初步实验表明，在小于１０伏交流信号激励下，马达旋转转速可达到约５０ｒｐｍ。
沈德新张健张保安卢建国董荣康陈思琴杨根庆王渭源
关键词：微机械加工定子转子
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