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常玉林
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
东南大学微电子中心
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
何野
东南大学微电子中心
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东南大学
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何野
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常玉林
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电子学报
年份
1篇
1991
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集成电路工艺设计中的试验设计
被引量:1
1991年
本文用自适应子空间剖分方法进行工艺参数超空间定义域的分割,并利用试验设计方法建立集成电路器件特性与工艺参数的二次回归模型。实例表明,在工艺优化设计和器件性能预测中用回归模型代替工艺-器件模拟具有较大的优越性。
何野
常玉林
关键词:
集成电路
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