周熔
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 供职机构:北京科技大学更多>>
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- 磁控溅射镀钛的研究被引量:1
- 1989年
- 在低碳钢板表面进行磁控溅射镀钛,800℃1小时得到20μm厚纯钛层。镀层附着牢固,耐蚀性良好。对镀钛后的试样用X射线衍射仪、电镜等所作分析表明:镀层为六方结构的α纯钛,同基体间界限分明,没有扩散发生,但结合紧密,未观察到孔洞。溅射后的试样在真空中于900℃保持2小时,则基体中部分铁原子及大量碳原子向镀层扩散,而镀层中的钛也向基体扩散,形成渐变的成份梯度,同时在镀层中测到少量Ti-Feβ相的体心立方结构。实验表明,磁控溅射是在钢表面得到高质量钛层的一种有效方法。
- 邓永瑞周熔
- 关键词:磁控溅射镀钛
- 三种物理气相沉积镀钛方法的研究
- 周熔
- 关键词:离子镀物理气相沉积