周云飞
- 作品数：189 被引量：1,286H指数：20
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺机械工程电气工程更多>>
- 磁控溅射中的海绵卷绕设备研究被引量：1
- 2003年
- 在大量试验的基础上 ,总结了磁控溅射中海绵的传动特性 ,设计了微张力海绵卷绕系统 ,建立了传动控制的数学模型。经大量试验和使用证明 ,该设计满足了磁控溅射中海绵卷绕的要求。
- 李鸿周云飞
- 关键词：磁控溅射海绵物理气相沉积卷绕机泡沫镍传动系统
- 100nm步进扫描光刻机硅片台掩模台运动结构设计被引量：13
- 2003年
- 本文介绍了基于直线电机、洛仑兹平面电机的 0 1μm光刻机 6坐标高速超精工件台的结构设计 ,其在 30 0mm运动范围内 ,系统的定位精度和运动精度都达到纳米级 ,且具有优良的速度、加速度、变加速度等动态性能。
- 李鸿周云飞
- 关键词：光刻机高速高精
- 多坐标曲面加工直接插补算法和新型CNC系统研究
- 周云飞
- 一种可应用于超大行程检测的绝对式位置检测装置
- 本发明属于机械电子领域，并公开了一种可应用于超大行程检测的绝对式位置检测装置，包括多个检测标尺及传感器读头，每个检测标尺均包括RFID标签、鉴尺磁钢组、鉴隙磁钢组和位置检测磁钢阵列；传感器读头包括RFID读写器、鉴尺霍尔...
- 彭阳周云飞马文超谢良辉涂骁
- 文献传递
- 基于高速光纤链路的同步测控机制被引量：3
- 2011年
- 针对光刻机工作台多维纳米级同步运动,提出一种基于光纤链路的同步测控机制,实现了针对各运动轴控制指令执行和传感数据采集的严格同步;为每个运动控制器与其测控单元之间设计了独占的高速数据通道,确保测控的实时性;设计了基于内部总线的同步周期触发,定义了一致的传感器、执行器单元执行时序,以及精确光纤链路数据传输模型,确保测控的高同步性。实验结果表明,该测控机制的总体输出延迟小于0.65μs,同步误差小于20ns,若提高光纤链路速率,能进一步提升同步测控性能。
- 程鑫周云飞胡永兵王耀
- 关键词：光纤链路超精密测控
- 光刻机工作台运动控制中的若干关键问题被引量：5
- 2014年
- 100 nm步进扫描投影光刻机是我国攻关研究的主流机型,工作台是实现其超精密性能的核心子系统。光刻机工作台采用粗、微复合的运动结构,其同步最大运动平均误差(<5 nm)和同步最大运动标准偏差(<12 nm)等性能指标对运动控制系统提出严苛要求。分析硅片台与掩模台的结构特点,提出了运动控制系统中保证精度实现的组成单元,分别论述轨迹规划、测量系统、控制策略单元等的工作机理与实现特点;为进一步提高运动控制精度,分析工作台可能受到的扰动因素,提出相应的补偿控制策略,探讨运动控制中各环节的参数校准策略。综合论述步进扫描投影型光刻机工作台运动控制中的关键问题,并提出相应的实现与解决方法,可为实际光刻设备超高精度的实现提供指导。
- 滕伟穆海华周云飞
- 关键词：工作台运动控制
- 点光源测头光束方向的标定被引量：6
- 2004年
- 指出在采用点光源测头测量物面测点坐标时 ,因光束方向相对于机床坐标系的安装偏角而引起的测量误差问题。提出了一种标定光束方向的方法。设计 V形块做标定的靶标平面 ,通过在 V形块随各坐标轴做等距移动时采样 ,实现了点光源测头光束方向的标定。给出了标定光束方向后的测点坐标计算方法。并设计了仿真程序验证了该方法的可行性。仿真结果表明 ,当测头精度为 0 .0 1m m,光栅尺对机床位移的检测精度为 0 .0 0 2 mm时 ,光束方向的标定误差可以控制在 0 .
- 周会成曾理湛陈吉红周云飞
- 关键词：机床
- 基于PC数控实时检测系统建模方法研究被引量：5
- 2003年
- 为了解决在基于 PC的数控系统中快速构建实时检测系统的问题 ,采用着色时间网对实时检测系统建模 ,应用着色时间网统一地表达了检测系统在基于 PC数控系统中的时间关系、资源关系和系统的控制策略 。
- 向华陈吉红周云飞陈立新
- 关键词：实时检测系统
- 一种磁浮平面电机动子初始相位定位方法
- 本发明公开了一种磁浮平面电机位置初始定位方法，该方法包括以下步骤：在磁浮平面电机动子不同位置放置4个霍尔传感器，通过测量电机静止时各个传感器所在位置的磁通密度，选取磁通密度最低的3个测量值作为观测值，结合磁钢阵列上磁通密...
- 周柔刚周云飞周才健涂骁
- 超精密点对点运动三阶轨迹规划精度控制被引量：32
- 2008年
- 研究一种优化的超精密点对点运动三阶轨迹规划算法及其精度控制策略。在简要分析三阶轨迹轮廓可能情形的基础上,建立三个约束基准用来预判别以上情形:速度—加速度基准、位移—加速度基准和位移—速度基准,依据该基准与系统约束,提出一种考虑轨迹全过程的预处理方法,并给出时间优化的轨迹规划算法。考虑算法离散实现时的精度损失,提出一种轨迹规划内部整数积分策略,避免因浮点积分操作所造成的数据漂移而引起的精度失败。此外,提出一种基于位置修正因子的补偿方法,克服切换时间圆整所引起的终点位置偏差。实例证明提出算法的有效性和可靠性。该算法已成功应用于半导体加工装备研发中。
- 穆海华周云飞严思杰韩爱国
- 关键词：点对点运动精度控制
